[实用新型]一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构

说明书

本实用新型实施例提供了一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构，该系统包括真空蒸镀机构、搬运机构以及水电镀机构，通过真空蒸镀机构对待蒸镀的薄膜进行蒸镀，通过搬运机构用于对真空蒸镀机构蒸镀后的薄膜搬运至所述水电镀机构，水电镀机构用于对蒸镀后的薄膜进行水电镀；本实施例提供的薄膜生产系统不仅可以快速对薄膜上的金属进行增厚，也能够减少成本。另外，真空蒸镀机构包括真空腔室，以及设置在所述真空腔室中的蒸镀装置，该蒸镀装置包含了两组薄膜蒸镀部件，可以同时对两卷薄膜的双面进行蒸镀，提高了薄膜生产效率且极大的减少成本。

技术领域

本实用新型涉及薄膜生产技术领域，具体涉及一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构。

背景技术

水电镀是一种电离子沉积过程，是利用电极通过电流，使金属附着在物体表面上，其目的为改变物体表面的特性或尺寸。

蒸镀是指将待蒸镀材料放置在坩埚等耐高温容器里，加热使其融化，从而使得待蒸镀材料气化，沉积在路过的薄膜上。现有的蒸镀机均为平铺设计，占地空间大，空间利用率低。除此之外，当前的蒸镀装置在完成一卷薄膜镀膜后，需要打开真空腔体继续放卷，不能一次性蒸镀多卷薄膜，也不能进行双面的多次蒸镀，效率低下。

并且现有的金属薄膜生产装置，不能够快速对薄膜进行增厚，完全靠蒸镀设备成本又太高。

基于此，本实用新型设计了一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构，以解决上述问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例的目的在于提供一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构，以解决现有技术中不能同时进行蒸镀和电镀的技术问题，以及真空蒸镀时空间利用率低以及每次只能生产一卷薄膜的技术问题。

为达上述目的，第一方面，本实用新型提供了一种薄膜生产系统，包括真空蒸镀机构、搬运机构以及水电镀机构，所述真空蒸镀机构，用于对待蒸镀的薄膜进行蒸镀；所述搬运机构，用于对蒸镀后的薄膜搬运至所述水电镀机构；所述水电镀机构，用于对所述蒸镀后的薄膜进行水电镀；

所述真空蒸镀机构包括真空腔室，以及竖直设置在所述真空腔室中的蒸镀装置。

在一些可能的实施方式中，所述蒸镀装置包括：

承载单元，包括：第一承载架和所述第二承载架，分别竖直的设置在所述真空腔室内；

放卷单元，包括：第一放卷部和所述第二放卷部，对称安装于所述第一承载架上；

收卷单元，包括：第一收卷部和第二收卷部，对称安装于所述第一承载架上，且在竖直方向上的安装高度高于所述放卷单元；

第一转向单元，包括：第一转向辊和第二转向辊，对称安装于所述第二承载架上；

第二转向单元，包括：第三转向辊和第四转向辊，对称安装于所述第二承载架上，且在竖直方向上的安装高度分别高于所述第一转向单元；

第一蒸镀源单元，包括：第一蒸镀源和第二蒸镀源，对称安装于所述第二承载架上；所述第一蒸镀源单元设置于所述放卷单元和所述第一转向单元之间；

第二蒸镀源单元，包括：第三蒸镀源和第四蒸镀源，对称安装于所述第二承载架上，且在竖直方向上的安装高度高于所述第一蒸镀单元；所述第二蒸镀源单元位于所述收卷单元和第二转向单元之间。

在一些可能的实施方式中，所述第一放卷部、所述第二放卷部、所述第一转向辊和所述第二转向辊的中心轴线在同一水平面上，使得待蒸镀的第一卷薄膜和待蒸镀的第二卷薄膜分别在所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源的上方成水平走带。

在一些可能的实施方式中，所述第一收卷部、所述第二收卷部、所述第三转向辊和所述第四转向辊的中心轴线在同一个水平面上，使得待蒸镀的第一卷薄膜和第二卷薄膜分别在所述第三蒸镀源和所述第四蒸镀源的上方成水平走带。