[实用新型]一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置有效

专利信息
申请号: 202123117128.0 申请日: 2021-12-13
公开(公告)号: CN217173858U 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 朱晓谦 申请(专利权)人: 郑州天宏自动化技术有限公司
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44
代理公司: 郑州铭科知识产权代理事务所(普通合伙) 41209 代理人: 李宣宣
地址: 450000 河南省*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 90 双目 cvd 体内 三维空间 装置
【权利要求书】:

1.一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置,包括反应容器(1)和支撑台(5),其特征在于:所述反应容器(1)的正面设有添料口(2),反应容器(1)的一侧设有检测口(3),反应容器(1)远离检测口(3)的一侧设有两个观察口(4);所述的支撑台(5)包括底座(6),底座(6)上设有支撑柱(20),支撑柱(20)上端设有固定套筒(21),所述固定套筒(21)的一侧设有工业相机(7),所述工业相机(7)的镜头与观察口(4)相对应。

2.根据权利要求1所述的一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置,其特征在于:两个所述观察口(4)中轴线之间的夹角α为70°~120°。

3.根据权利要求1所述的一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置,其特征在于:所述固定套筒(21)的一侧设有螺丝孔(8),与螺丝孔(8)相配合设有固定螺丝(9),所述固定螺丝(9)的一端设有摩擦片(10)。

4.根据权利要求1所述的一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置,其特征在于:所述固定套筒(21)上设有旋转轴(11),所述旋转轴(11)啮合连接有伸缩齿条(12),所述旋转轴(11)的上设有手柄(13)。

5.根据权利要求4所述的一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置,其特征在于:所述伸缩齿条(12)的下部设有连接轴(14)和相机调节套筒(15),所述相机调节套筒(15)上设有旋转环(16),所述旋转环(16)套设在连接轴(14)上,所述旋转环(16)的内部设有摩擦环(17);所述工业相机(7)与相机调节套筒(15)可拆卸连接。

6.根据权利要求1所述的一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置,其特征在于:所述添料口(2)上设有密封门(18),添料口(2)两侧均设有紧固螺栓(19);密封门(18)通过紧固螺栓(19)与添料口(2)可拆卸连接。

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