[实用新型]一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置有效
申请号: | 202123117128.0 | 申请日: | 2021-12-13 |
公开(公告)号: | CN217173858U | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
发明(设计)人: | 朱晓谦 | 申请(专利权)人: | 郑州天宏自动化技术有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
代理公司: | 郑州铭科知识产权代理事务所(普通合伙) 41209 | 代理人: | 李宣宣 |
地址: | 450000 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 90 双目 cvd 体内 三维空间 装置 | ||
1.一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置,包括反应容器(1)和支撑台(5),其特征在于:所述反应容器(1)的正面设有添料口(2),反应容器(1)的一侧设有检测口(3),反应容器(1)远离检测口(3)的一侧设有两个观察口(4);所述的支撑台(5)包括底座(6),底座(6)上设有支撑柱(20),支撑柱(20)上端设有固定套筒(21),所述固定套筒(21)的一侧设有工业相机(7),所述工业相机(7)的镜头与观察口(4)相对应。
2.根据权利要求1所述的一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置,其特征在于:两个所述观察口(4)中轴线之间的夹角α为70°~120°。
3.根据权利要求1所述的一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置,其特征在于:所述固定套筒(21)的一侧设有螺丝孔(8),与螺丝孔(8)相配合设有固定螺丝(9),所述固定螺丝(9)的一端设有摩擦片(10)。
4.根据权利要求1所述的一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置,其特征在于:所述固定套筒(21)上设有旋转轴(11),所述旋转轴(11)啮合连接有伸缩齿条(12),所述旋转轴(11)的上设有手柄(13)。
5.根据权利要求4所述的一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置,其特征在于:所述伸缩齿条(12)的下部设有连接轴(14)和相机调节套筒(15),所述相机调节套筒(15)上设有旋转环(16),所述旋转环(16)套设在连接轴(14)上,所述旋转环(16)的内部设有摩擦环(17);所述工业相机(7)与相机调节套筒(15)可拆卸连接。
6.根据权利要求1所述的一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置,其特征在于:所述添料口(2)上设有密封门(18),添料口(2)两侧均设有紧固螺栓(19);密封门(18)通过紧固螺栓(19)与添料口(2)可拆卸连接。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的