[实用新型]一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置有效
申请号: | 202123117128.0 | 申请日: | 2021-12-13 |
公开(公告)号: | CN217173858U | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
发明(设计)人: | 朱晓谦 | 申请(专利权)人: | 郑州天宏自动化技术有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44 |
代理公司: | 郑州铭科知识产权代理事务所(普通合伙) 41209 | 代理人: | 李宣宣 |
地址: | 450000 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 90 双目 cvd 体内 三维空间 装置 | ||
本实用新型公开了一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置,包括包括反应容器和支撑台,反应容器的正面设有添料口,反应容器的一侧设有检测口,反应容器远离检测口的一侧设有两个观察口;所述的支撑台包括底座,底座上设有支撑柱,支撑柱上端设有固定套筒,所述固定套筒的一侧设有工业相机。本实用新型通过在反应容器上设有两个观察口,使用两个工业相机从两个不同的角度对内部的反应物品进行观察,能够通过图像数据采样分析,通过不同角度的图像进行重构,反应相出内部的三维空间,并在特定的软件界面上显示出来,使操作者只需要操作软件就能从各不同的角度来观察内部的反应情况,将内部的反映情况可视化,便于测量与记录。
技术领域
本实用新型涉及气相沉积技术领域,具体为一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置。
背景技术
在CVD钻石培育过程中,由于反应容器内是真空高温条件,且化学反应十分复杂,需要对内部的反映情况进行持续的观察。现有的观察方法是试验或生产人员通过观察窗来观察CVD腔体内的反应情况,该方法有很大的局限性,主观性太高,不同的人员会有不同的主观感受,存在观察和测量的误差,因此需要一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种90°双目重构CVD腔体内三维空间装置以解决上述背景技术中提出的人工观测存在误差问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:反应容器和支撑台,其特征在于:所述反应容器的正面设有添料口,反应容器的一侧设有检测口,反应容器远离检测口的一侧设有两个观察口;所述的支撑台包括底座,底座上设有支撑柱,支撑柱上端设有固定套筒,所述固定套筒的一侧设有工业相机,所述工业相机的镜头与观察口相对应。
两个所述观察口中轴线之间的夹角α为70°~120°。
所述固定套筒的一侧设有螺丝孔,与螺丝孔相配合设有固定螺丝,所述固定螺丝的一端设有摩擦片。
所述固定套筒上设有旋转轴,所述旋转轴啮合连接有伸缩齿条,所述旋转轴的上设有手柄。
所述伸缩齿条的下部设有连接轴和相机调节套筒,所述相机调节套筒上设有旋转环,所述旋转环套设在连接轴上,所述旋转环的内部设有摩擦环;所述工业相机与相机调节套筒可拆卸连接。
所述添料口上设有密封门,添料口两侧均设有紧固螺栓;密封门通过紧固螺栓与添料口可拆卸连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型通过在反应容器上设有两个观察口,使用两个工业相机从两个不同的角度对内部的反应物品进行观察,能够通过图像数据采样分析,通过不同角度的图像进行重构,反应出内部的三维空间,并在特定的软件界面上显示出来,使操作者只需要操作软件就能从各不同的角度来观察内部的反应情况,将内部的反映情况可视化,便于测量与记录。
2、本实用新型通过固定套管的设置,调整转轴旋转时带动啮合连接的伸缩齿条,能够在水平方向上调节工业相机的位置,通过连接轴轴和旋转环的配合设置,调节旋转环,能够改变工业相机的角度,便于对准内部的反应,提高图像识别的清晰度,通过摩擦环的设置,能够起到增加旋转环和连接轴摩擦力的效果,便于固定旋转环的角度。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的剖视示意图;
图3为本实用新型的固定套筒结构示意图。
图中:1、反应容器;2、添料口;3、检测口;4、观察口;5、支撑台;6、底座;7、工业相机;8、螺丝孔;9、固定螺丝;10、摩擦片;11、旋转轴;12、伸缩齿条;13、手柄;14、连接轴;15、相机调节套筒;16、旋转环;17、摩擦环;18、密封门;19、紧固螺栓;20、支撑柱;21、固定套筒。
具体实施方式
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