[实用新型]一种光刻机掩膜版盒的储存柜

权利要求书

1.一种光刻机掩膜版盒的储存柜，包括柜体，其特征在于：所述柜体内安装上水平分隔板和下水平分隔板，所述上水平分隔板和下水平分隔板将所述柜体分隔成上腔体、中间腔体和下腔体，所述上水平分隔板和下水平分隔板之间安装有竖直分隔板，该竖直分隔板将所述中间腔体分隔为前腔体和后腔体，所述前腔体内抽拉安装有若干个用于放置掩膜版盒的收纳盒，每个收纳盒的前板面上均设置有用于反应掩膜版盒规格的标签纸，所述后腔体内安装有过滤器，所述后腔体上设置有进气口，所述下腔体上设置有抽气风机，所述抽气风机的进气口与后腔体联通，所述抽气风机的出气口与前腔体连通，所述前腔体与上腔体连通，所述上腔体上设置有排气口，所述上腔体上设置有用于检测腔体内部温度和湿度的温湿度传感器。

2.如权利要求1所述的一种光刻机掩膜版盒的储存柜，其特征在于：所述前腔体内安装若干块水平支撑板，所述水平支撑板将前腔体分隔成若干个用于放置收纳盒的放置腔，所述放置腔上设置有导轨组件，所述收纳盒安装于导轨组件上，所述放置腔内位于收纳盒的后侧固定有用于磁吸收纳盒的磁吸组件。

3.如权利要求2所述的一种光刻机掩膜版盒的储存柜，其特征在于：每个放置腔内还安装有用于检测收纳盒是否关闭到位的位置检测传感器，所述下腔体内安装有控制柜，所述柜体的外部设置有蜂鸣器，所述蜂鸣器和所述位置检测传感器与控制柜电连接，所述控制柜与所述抽气风机之间电连接。

4.如权利要求3所述的一种光刻机掩膜版盒的储存柜，其特征在于：所述位置检测传感器为接触式传感器，所述接触式传感器固定在放置腔的腔壁上且与收纳盒的前面板后侧面接触配合。

5.如权利要求4所述的一种光刻机掩膜版盒的储存柜，其特征在于：所述柜体位于上腔体的外部还安装有补光灯。

6.如权利要求5所述的一种光刻机掩膜版盒的储存柜，其特征在于：所述过滤器为HEPA过滤器。