[实用新型]一种光刻机掩膜版盒的储存柜

说明书

本实用新型公开了一种光刻机掩膜版盒的储存柜，包括柜体柜体被分隔成上腔体、中间腔体和下腔体，中间腔体被分隔为前腔体和后腔体，前腔体内抽拉安装有收纳盒，收纳盒的前板面上均设置有标签纸，后腔体内安装有过滤器，所述后腔体上设置有进气口，所述下腔体上设置有抽气风机，所述抽气风机的进气口与后腔体联通，所述抽气风机的出气口与前腔体连通，所述前腔体与上腔体连通，所述上腔体上设置有排气口，所述上腔体上设置有用于检测腔体内部温度和湿度的温湿度传感器。该储存柜可以更好的储存掩膜版盒，方便掩膜版盒的寻找，避免空间中的灰尘污染掩膜版盒。

技术领域

本实用新型涉及一种储存柜，尤其涉及一种光刻机掩膜版盒的储存柜。

背景技术

光刻机是一种半导体生产设备，在光刻的过程中会利用到掩膜版，而由于晶圆进行光刻的图案有非常多种，因此就需要使用多非常多的掩膜版，这样就导致掩膜版盒的规格也非常多，而目前的掩膜版盒的储存方式是放置在一个掩膜版盒内，然后所有的掩膜版盒堆放在一个区域，当需要使用对应的掩膜版盒时需要人工翻动储存盒，找到对应的储存盒后取出掩膜版盒使用，这种储存方式存在以下弊端：1、这种存放方式在寻找对应规格的掩膜时是比较繁琐的，寻找时间长；2、目前的掩膜版盒虽然放置在储存盒内，但是储存盒是放置在工作空间内，空间中可能有灰尘会进入到储存盒内，从而附着在掩膜版盒上，这样就会影响光刻的精度和光刻质量。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种光刻机掩膜版盒的储存柜，该储存柜可以更好的储存掩膜版盒，方便掩膜版盒的寻找，避免空间中的灰尘污染掩膜版盒。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种光刻机掩膜版盒的储存柜，包括柜体，所述柜体内安装上水平分隔板和下水平分隔板，所述上水平分隔板和下水平分隔板将所述柜体分隔成上腔体、中间腔体和下腔体，所述上水平分隔板和下水平分隔板之间安装有竖直分隔板，该竖直分隔板将所述中间腔体分隔为前腔体和后腔体，所述前腔体内抽拉安装有若干个用于放置掩膜版盒的收纳盒，每个收纳盒的前板面上均设置有用于反应掩膜版盒规格的标签纸，所述后腔体内安装有过滤器，所述后腔体上设置有进气口，所述下腔体上设置有抽气风机，所述抽气风机的进气口与后腔体联通，所述抽气风机的出气口与前腔体连通，所述前腔体与上腔体连通，所述上腔体上设置有排气口，所述上腔体上设置有用于检测腔体内部温度和湿度的温湿度传感器。

作为一种优选的方案，所述前腔体内安装若干块水平支撑板，所述水平支撑板将前腔体分隔成若干个用于放置收纳盒的放置腔，所述放置腔上设置有导轨组件，所述收纳盒安装于导轨组件上，所述放置腔内位于收纳盒的后侧固定有用于磁吸收纳盒的磁吸组件。

作为一种优选的方案，每个放置腔内还安装有用于检测收纳盒是否关闭到位的位置检测传感器，所述下箱体内安装有控制柜，所述柜体的外部设置有蜂鸣器，所述蜂鸣器和所述位置检测传感器与控制柜电连接，所述控制柜与所述抽气风机之间电连接。

作为一种优选的方案，所述位置检测传感器为接触式传感器，所述接触式传感器固定在放置腔的腔壁上且与收纳盒的前面板后侧面接触配合。

作为一种优选的方案，所述柜体位于上腔体的外部还安装有补光灯。

作为一种优选的方案，所述过滤器为HEPA过滤器。