[实用新型]一种连续镀膜生产线用的基片架回转限位装置有效

专利信息
申请号: 202123122006.0 申请日: 2021-12-08
公开(公告)号: CN217324280U 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 彭友前;姜翠宁 申请(专利权)人: 洛阳生波尔真空装备有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/50
代理公司: 中山卓融知识产权代理事务所(普通合伙) 44791 代理人: 彭国军;赵钊
地址: 471822 河南省洛*** 国省代码: 河南;41
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 连续 镀膜 生产线 基片架 回转 限位 装置
【权利要求书】:

1.一种连续镀膜生产线用的基片架回转限位装置,其特征在于包括设于回转架本体(31)一侧的传送轮(41)和设于所述传送轮(41)顶部的磁导轨(7),所述磁导轨(7)的两内侧设有磁性相同的磁铁,所述传送轮(41)上设有供基片架本体(10)卡入的卡环(83)。

2.根据权利要求1所述的一种连续镀膜生产线用的基片架回转限位装置,其特征在于所述卡环(83)内套设有限位胶圈(84)。

3.根据权利要求1或2所述的一种连续镀膜生产线用的基片架回转限位装置,其特征在于还包括设于回转架本体(31)外侧的电磁铁(81)和设于基片架本体(10)上且用于供所述电磁铁(81)吸住的定位片(82)。

4.根据权利要求3所述的一种连续镀膜生产线用的基片架回转限位装置,其特征在于所述磁导轨(7)、回转架本体(31)和传送轮(41)向外倾斜设置,位于所述磁导轨(7)外侧的磁铁的磁力大于位于所述磁导轨(7)内侧的磁铁的磁力。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于洛阳生波尔真空装备有限公司,未经洛阳生波尔真空装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202123122006.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top