[实用新型]一种连续镀膜生产线用的基片架回转限位装置有效
申请号: | 202123122006.0 | 申请日: | 2021-12-08 |
公开(公告)号: | CN217324280U | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 彭友前;姜翠宁 | 申请(专利权)人: | 洛阳生波尔真空装备有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/50 |
代理公司: | 中山卓融知识产权代理事务所(普通合伙) 44791 | 代理人: | 彭国军;赵钊 |
地址: | 471822 河南省洛*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 连续 镀膜 生产线 基片架 回转 限位 装置 | ||
1.一种连续镀膜生产线用的基片架回转限位装置,其特征在于包括设于回转架本体(31)一侧的传送轮(41)和设于所述传送轮(41)顶部的磁导轨(7),所述磁导轨(7)的两内侧设有磁性相同的磁铁,所述传送轮(41)上设有供基片架本体(10)卡入的卡环(83)。
2.根据权利要求1所述的一种连续镀膜生产线用的基片架回转限位装置,其特征在于所述卡环(83)内套设有限位胶圈(84)。
3.根据权利要求1或2所述的一种连续镀膜生产线用的基片架回转限位装置,其特征在于还包括设于回转架本体(31)外侧的电磁铁(81)和设于基片架本体(10)上且用于供所述电磁铁(81)吸住的定位片(82)。
4.根据权利要求3所述的一种连续镀膜生产线用的基片架回转限位装置,其特征在于所述磁导轨(7)、回转架本体(31)和传送轮(41)向外倾斜设置,位于所述磁导轨(7)外侧的磁铁的磁力大于位于所述磁导轨(7)内侧的磁铁的磁力。
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