[实用新型]一种芯片测试探针装置有效
申请号: | 202123140167.2 | 申请日: | 2021-12-14 |
公开(公告)号: | CN216434188U | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 曾丹萍;秦超强 | 申请(专利权)人: | 深圳市海芯微迅半导体有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 广东奥益专利代理事务所(普通合伙) 44842 | 代理人: | 田树杰 |
地址: | 518100 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 测试 探针 装置 | ||
1.一种芯片测试探针装置,其特征在于,包括:
底座(1)、顶板(14)、升降板(7),以及设于底座(1)上的电机(12),所述电机(12)上设有丝杆(13),所述底座(1)上开设有导轨(101),所述导轨(101)内滑动卡接有滑座(3),所述滑座(3)上设有导滚珠(31)、缓冲腔(4),所述缓冲腔(4)内设有缓冲座(5)、缓冲弹簧(41),所述缓冲座(5)上设有IPT帽杆(6),所述IPT帽杆(6)上设有芯片(61),所述升降板(7)上设有安装块(8),所述安装块(8)上设有锁止销(9)、探针电路板(2),所述探针电路板(2)上设有测试探针(21)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片测试探针装置,其特征在于:所述导滚珠(31)分为左右对称的两组,每组数量为三个并与导轨(101)的内壁滚动接触。
3.根据权利要求1所述的一种芯片测试探针装置,其特征在于:所述导轨(101)和滑座(3)的侧截面均为T形状结构。
4.根据权利要求1所述的一种芯片测试探针装置,其特征在于:所述缓冲座(5)滑接于缓冲腔(4)内,所述缓冲弹簧(41)设于缓冲座(5)和缓冲腔(4)内壁之间。
5.根据权利要求1所述的一种芯片测试探针装置,其特征在于:所述安装块(8)上设有安装槽(81),所述安装槽(81)内设有防护垫(811),所述探针电路板(2)上开设有锁止槽(211),所述锁止销(9)穿过安装块(8)和防护垫(811)并与锁止槽(211)卡接。
6.根据权利要求5所述的一种芯片测试探针装置,其特征在于:所述锁止销(9)上设有指钩环(92),所述指钩环(92)和安装块(8)之间设有弹簧(91)。
7.根据权利要求5所述的一种芯片测试探针装置,其特征在于:所述锁止销(9)是以探针电路板(2)的竖向中轴线为中心左右对称的两个。
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