[实用新型]一种芯片测试探针装置

说明书

本实用新型公开了一种芯片测试探针装置，包括底座、顶板、升降板，以及设于底座上的电机，电机上设有丝杆，底座上开设有导轨，导轨内滑动卡接有滑座，滑座上设有导滚珠、缓冲腔，缓冲腔内设有缓冲座、缓冲弹簧，缓冲座上设有IPT帽杆，IPT帽杆上设有芯片，升降板上设有安装块，安装块上设有锁止销、探针电路板，探针电路板上设有测试探针。提高了滑座以及具有芯片的IPT帽杆整体在导轨中的移动顺滑性和防脱性，可实现芯片对测试探针的下压顶力的有效缓冲卸力防护，避免测试探针硬性顶压芯片而造成芯片压伤的情况，实现探针电路板以及测试探针的整体方便拆卸并更换新的整体一套，进而提高了对芯片测试的精准质量。

技术领域

本实用新型涉及芯片测试技术领域，具体为一种芯片测试探针装置。

背景技术

在半导体芯片的研发及大规模生产过程中，均需要对芯片的各类性能进行测试，芯片在制造过程中需要使用测试探针进行测试，以保证芯片品质符合生产需求。

在公告号CN211905577U中公开了一种芯片测试探针装置，包括底座、步进电机和导向杆，底座上端一侧通过螺栓连接有步进电机，步进电机的传动输出端通过键连接有丝杆，丝杆一侧设置有与底座插接的导向杆，导向杆上滑动连接有升降板，升降板下端中部设置有探针电路板，探针电路板下端中部设置有固定块，固定块下端设置有测试探针，底座上端中部成型有滑轨，滑轨内设置有IPT帽杆，IPT帽杆上端设置有芯片。

上述芯片测试探针装置具体操作是，装置使用外接电源，且被外部设备控制，IPT帽杆可被送料机构或其他设备推动在滑轨上进行移动，当IPT帽杆携带芯片移动至探针电路板下方时，步进电机工作带动丝杆进行转动，由于丝杆与升降板通过螺纹连接，这样在丝杆转动时，升降板在导向杆的辅助下可进行升降，这样探针电路板也可进行升降，使测试探针与芯片接触，这样测试探针可对芯片进行多点测试。

可是，上述的芯片测试探针装置，其IPT帽杆整体是直接滑动于导轨，并不具有T状结构滑接结构以及对称排列的导滚珠结构，进而大大降低了IPT帽杆整体的移动顺滑性和防脱性，而且，测试探针下降并对芯片直接进行硬性顶压，容易造成芯片压伤的情况；

另外，测试探针长时间使用会老化需要拆卸更换，可是由于上述探针电路板与升降板是通过多颗螺钉连接的，不方便拆卸更换，进而会大大降低对芯片测试的精准质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种芯片测试探针装置，以解决现有技术中IPT帽杆整体的移动顺滑性和防脱性较低、测试探针下降并对芯片直接进行硬性顶压而造成芯片压伤的情况、探针电路板与升降板之间不方便拆卸更换的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种芯片测试探针装置，包括底座、顶板、升降板，以及设于底座上的电机，所述电机上设有丝杆，所述底座上开设有导轨，所述导轨内滑动卡接有滑座，所述滑座上设有导滚珠、缓冲腔，所述缓冲腔内设有缓冲座、缓冲弹簧，所述缓冲座上设有IPT帽杆，所述IPT帽杆上设有芯片，所述升降板上设有安装块，所述安装块上设有锁止销、探针电路板，所述探针电路板上设有测试探针，上述相关结构均为公告号CN211905577U中公开的芯片测试探针装置的组件结构。

优选的，所述导滚珠分为左右对称的两组，每组数量为三个并与导轨的内壁滚动接触，导滚珠采用高速钢制成的球体，耐磨耐用。

优选的，所述导轨和滑座的侧截面均为T形状结构，避免滑座从导轨上侧滑脱。

优选的，所述缓冲座滑接于缓冲腔内，所述缓冲弹簧设于缓冲座和缓冲腔内壁之间，缓冲弹簧采用优质弹簧钢制成，具有优良的缓冲弹性以及稳定性。

优选的，所述安装块上设有安装槽，所述安装槽内设有防护垫，所述探针电路板上开设有锁止槽，所述锁止销穿过安装块和防护垫并与锁止槽卡接，防护垫为聚氨酯橡胶垫，避免安装时金属材质的安装块对探针电路板造成磨损。

优选的，所述指钩环和安装块之间设有弹簧，可实现锁止销快速卡入锁止槽。