[实用新型]一种锗单晶炉用防泄漏引流装置有效
申请号: | 202123142758.3 | 申请日: | 2021-12-10 |
公开(公告)号: | CN216427479U | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 吕远芳 | 申请(专利权)人: | 保定三晶电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/08;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 071000 河北省保*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 锗单晶炉用防 泄漏 引流 装置 | ||
1.一种锗单晶炉用防泄漏引流装置,包括外置炉框(1)、内炉体(2)和引流气囊(3),其特征在于:所述外置炉框(1)的内部设有内炉体(2),所述内炉体(2)的顶部设有引流气囊(3),所述引流气囊(3)与内炉体(2)之间采用隔板隔开;
所述引流气囊(3)包括气囊本体(31)、进气管(32)、排气总管(33)、排出管(34)、回流管(35)和控制阀(36),所述气囊本体(31)的底端连接有进气管(32),所述气囊本体(31)的一侧连接有排气总管(33),排气总管(33)与气囊本体(31)的内部相互连通,所述排气总管(33)远离气囊本体(31)的一端连接有排出管(34),所述排出管(34)的下方设有回流管(35),所述回流管(35)与排气总管(33)之间相互连通,所述排出管(34)和回流管(35)上均设有控制阀(36)。
2.根据权利要求1所述的一种锗单晶炉用防泄漏引流装置,其特征在于:所述进气管(32)包括外管框(321)、密封垫(322)、通气孔(323)、进气口(324)和出气口(325),所述外管框(321)的内部设有密封垫(322),所述密封垫(322)的内部开设有通气孔(323),所述外管框(321)的底部开设有进气口(324),所述外管框(321)的顶端安插在气囊本体(31)中,外管框(321)的顶部开设有出气口(325)。
3.根据权利要求1所述的一种锗单晶炉用防泄漏引流装置,其特征在于:所述控制阀(36)包括阀门框体(361)、透气孔(362)、安插柱(363)、外置螺纹(364)和梅花钮(365),所述阀门框体(361)的两侧均开设有透气孔(362),所述阀门框体(361)的内部设有安插柱(363),所述安插柱(363)的外侧开设有外置螺纹(364),所述安插柱(363)的外侧固定连接有梅花钮(365)。
4.根据权利要求2所述的一种锗单晶炉用防泄漏引流装置,其特征在于:所述密封垫(322)为采用橡胶材质制成的构件,外管框(321)的内部共设有四层密封垫(322),密封垫(322)的外侧与外管框(321)之间固定粘连连接,密封垫(322)内部的通气孔(323)在常态下保持封闭状态。
5.根据权利要求3所述的一种锗单晶炉用防泄漏引流装置,其特征在于:所述阀门框体(361)的内壁上设有内置螺纹槽,安插柱(363)上的外置螺纹(364)与内置螺纹槽之间相互咬合。
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