[实用新型]一种U形内管型反应镀膜布气装置有效
| 申请号： | 202123152719.1 | 申请日： | 2021-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN216738500U | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 刘华伟;孙效刚;王用兵 | 申请（专利权）人： | 山东省宝丰镀膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 济南方宇专利代理事务所(普通合伙) 37251 | 代理人： | 史长敏 |
| 地址： | 262500 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 形内管型 反应 镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种U形内管型反应镀膜布气装置，其特征在于：包括外套管(1)和装配于外套管(1)内的内管(2)；所述外套管(1)的两端口分别固定安装有外管塞(12)；所述内管(2)呈U形或相当于U形结构，其一端从其中一个外管塞贯穿伸出外套管(1)外，并固定安装有进气嘴(3)，所述进气嘴(3)连接供气管路(4)；所述外套管(1)的管壁上沿轴向均匀设置有若干个外管出气孔(11)；所述内管(2)的管壁上沿轴向均匀设置有若干个内管出气孔(21)。
2.根据权利要求1所述的U形内管型反应镀膜布气装置，其特征在于：所述的外管出气孔(11)、内管出气孔(21)相互交错排布，且各个内管出气孔(21)均设置于内管(2)的内侧管壁上。
3.根据权利要求1或2所述的U形内管型反应镀膜布气装置，其特征在于：所述内管(2)的内端口封闭或者固定有内管塞(22)。
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