[实用新型]一种U形内管型反应镀膜布气装置有效
申请号: | 202123152719.1 | 申请日: | 2021-12-15 |
公开(公告)号: | CN216738500U | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 刘华伟;孙效刚;王用兵 | 申请(专利权)人: | 山东省宝丰镀膜有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/14 |
代理公司: | 济南方宇专利代理事务所(普通合伙) 37251 | 代理人: | 史长敏 |
地址: | 262500 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 形内管型 反应 镀膜 装置 | ||
本实用新型涉及镀膜设备技术领域,具体地说,涉及一种U形内管型反应镀膜布气装置。包括外套管和装配于外套管内的内管;所述外套管的两端口分别固定安装有外管塞;所述内管呈U形或相当于U形结构,其一端从外管塞贯穿伸出外套管外,并固定安装有进气嘴,所述进气嘴连接供气管路;所述外套管的管壁上沿轴向均匀设置有若干个外管出气孔;所述内管的管壁上沿轴向均匀设置有若干个内管出气孔。本实用新型采用套管式结构,外套管和内管上分别设置相互交错的出气孔,气体进入内管,经由内管上的出气孔进入外套管内腔后混合均匀,再由外套管上的出气孔排出,从而达到均匀出气的目的,实现镀膜的均匀性,提高镀膜产品质量。
技术领域
本实用新型涉及镀膜设备技术领域,具体地说,涉及一种U形内管型反应镀膜布气装置。
背景技术
近年来,反应镀膜行业的需求越来越高,反应镀膜需要铝蒸气与合理比例的其他气体反应后附着在薄膜上实现。现有的镀膜设备存在因铝蒸汽布气不均匀而导致反应不均匀的问题。目前,某些镀膜设备采用迷宫式布气装置,迷宫式布气装置采用的是两块板相扣的装配方式,不仅加工工艺复杂,而且,在实际使用中由于蒸发镀铝产生大量辐射热,迷宫式布气装置的两块板会因为受热不均匀而变形严重,最终影响供气。
实用新型内容
本实用新型的目的在于,提供一种反应镀膜用对向内管布气装置,解决以上技术问题。
为解决上述问题,本实用新型所采用的技术方案是:
一种U形内管型反应镀膜布气装置,其特征在于:包括外套管和装配于外套管内的内管;所述外套管的两端口分别固定安装有外管塞;所述内管呈U形或相当于U形结构,其一端从其中一个外管塞贯穿伸出外套管外,并固定安装有进气嘴,所述进气嘴连接供气管路;所述外套管的管壁上沿轴向均匀设置有若干个外管出气孔;所述内管的管壁上沿轴向均匀设置有若干个内管出气孔。
优选的,所述的外管出气孔、内管出气孔相互交错排布,且各个内管出气孔均设置于内管的内侧管壁上。
优选的,所述内管的内端口封闭或者固定有内管塞。
有益效果:与现有技术相比,本实用新型采用套管式结构,结构简单、制作方便,外套管和U形或相当于U形的内管上分别设置相互交错的出气孔,气体进入内管(内管的U形结构使气体气压在左右宽度方向上达成均匀一致),经由内管上的出气孔进入外套管内腔后混合均匀,再由外套管上的出气孔排出,从而达到均匀出气的目的,实现镀膜的均匀性,提高镀膜产品质量;同时,内管具有伸缩空间,受热膨胀伸长后也可以稳定供气。
附图说明
图1为本实用新型一种实施例的结构示意图。
图中:1-外套管;11-外管出气孔;12-外管塞;2-内管;21-内管出气孔;22-内管塞;3-进气嘴;4-供气管路。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。
实施例
参照图1,本实施例所述的U形内管型反应镀膜布气装置,包括外套管1和装配于外套管1内的内管2;所述外套管1的两端口分别固定安装有外管塞12,所述内管2呈U形或相当于U形结构,其内端口封闭或者固定有内管塞22。所述内管2的一端从其中一个外管塞贯穿伸出外套管1外,并固定安装有进气嘴3,所述进气嘴3连接供气管路4;所述外套管1的管壁上沿轴向均匀设置有若干个外管出气孔11;所述内管2的内侧管壁上沿轴向均匀设置有若干个内管出气孔21。所述外管出气孔11与内管出气孔21相互交错排布。
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