[实用新型]一种MEMS总体结构

权利要求书

1.一种MEMS总体结构，其特征在于，包括：具有一端开口的壳体状的基座（20），设置在所述基座（20）的壳体开口处的上盖（10），设置在所述基座（20）的壳体侧壁上的插座（30）；

其中，所述基座（20）的壳体开口端面不对称的设置有若干上盖安装螺钉孔（23），所述上盖（10）上设置有与若干所述上盖安装螺钉孔（23）对应的上盖螺钉孔（12），所述上盖（10）与所述基座（20）通过上盖螺钉（13）固定连接。

2.根据权利要求1所述的MEMS总体结构，其特征在于，所述基座（20）为呈立方体形的壳体状，其壳体的底壁外侧设置有基座底脚（22），所述基座底脚（22）上设置有底脚通孔（27）。

3.根据权利要求1或2所述的MEMS总体结构，其特征在于，所述基座（20）内设置有若干固定柱（24）。

4.根据权利要求3所述的MEMS总体结构，其特征在于，所述基座（20）的底壁内侧设置有若干底壁螺纹盲孔（25）。

5.根据权利要求4所述的MEMS总体结构，其特征在于，所述插座（30）中设置相互连通且相互垂直的插座第一开口（33）和插座第二开口（34）。

6.根据权利要求5所述的MEMS总体结构，其特征在于，所述插座（30）上设置所述插座第一开口（33）的端面上设置有接插件连接螺纹孔（32）。

7.根据权利要求5或6所述的MEMS总体结构，其特征在于，所述插座（30）上设置有插座安装孔（31），所述插座（30）通过插座螺钉（35）与所述基座（20）固定连接。

8.根据权利要求7所述的MEMS总体结构，其特征在于，所述基座（20）的壳体侧壁上设置有与所述插座第二开口（34）对应的接插件通孔（26）。