[实用新型]一种MEMS总体结构

说明书

本申请涉及惯性传感器组合的集成安装技术领域，尤其涉及一种MEMS总体结构，包括：基座，设置在基座的壳体开口处的上盖，设置在基座的壳体侧壁上的插座；其中，基座的壳体开口端面不对称的设置有若干上盖安装螺钉孔，上盖上设置有与若干上盖安装螺钉孔对应的上盖螺钉孔。该MEMS总体结构的构件少，结构简单，采用较为简单的加工工艺即可加工，从而使加工效率提高和加工成本降低；用于固定上盖与基座的若干对应设置的上盖螺钉孔和上盖安装螺钉孔呈不对称状分布，这样的设置可以使上盖在装配到基座上时具有唯一的装配方向，进而使上盖与基座装配后，形成一个完全封闭的磁场导通回路，使该结构具有良好的磁屏蔽效果。

技术领域

本申请涉及惯性传感器组合的集成安装技术领域，尤其涉及一种MEMS总体结构。

背景技术

新型微机电系统（Micro-Electro Mechanical System，MEMS）总体结构是微机电陀螺仪、导航解算板集成的安装平台，其需要设计紧凑的结构，需要具有较高的强度，较强的磁屏蔽效果，能为内部敏感元器件提供机械安装接口与良好的电磁环境。

现有的MEMS总体结构通常使用铝合金材料，采用整料数铣方式进行加工，加工精度要求高，整体结构复杂，因此，加工过程中的流转工序多，加工时间长，使用刀具多，且需要进行特殊表面处理工艺，增加了加工难度和加工成本，并且得到的MEMS总体结构的磁屏蔽效果差。

实用新型内容

本申请提供了一种MEMS总体结构，以解决传统MEMS总体结构磁屏蔽效果差、加工工艺复杂、加工成本高的问题。

本申请解决上述技术问题所采取的技术方案如下：

一种MEMS总体结构，包括：具有一端开口的壳体状的基座，设置在所述基座的壳体开口处的上盖，设置在所述基座的壳体侧壁上的插座；

其中，所述基座的壳体开口端面不对称的设置有若干上盖安装螺钉孔，所述上盖上设置有与若干所述上盖安装螺钉孔对应的上盖螺钉孔，所述上盖与所述基座通过上盖螺钉固定连接。

进一步的，所述基座为呈立方体形的壳体状，其壳体的底壁外侧设置有基座底脚，所述基座底脚上设置有底脚通孔。

进一步的，所述基座内设置有若干固定柱。

进一步的，所述基座的底壁内侧设置有若干底壁螺纹盲孔。

进一步的，所述插座中设置相互连通且相互垂直的插座第一开口和插座第二开口。

进一步的，所述插座上设置所述插座第一开口的端面上设置有接插件连接螺纹孔。

进一步的，所述插座上设置有插座安装孔，所述插座通过插座螺钉与所述基座固定连接。

进一步的，所述基座的壳体侧壁上设置有与所述插座第二开口对应的接插件通孔。

本申请提供的技术方案包括以下有益技术效果：

本申请提供的MEMS总体结构包括：具有一端开口的壳体状的基座，设置在基座的壳体开口处的上盖，设置在基座的壳体侧壁上的插座；其中，基座的壳体开口端面不对称的设置有若干上盖安装螺钉孔，上盖上设置有与若干上盖安装螺钉孔对应的上盖螺钉孔，上盖与基座通过上盖螺钉固定连接。该MEMS总体结构的构件少，结构简单，采用较为简单的加工工艺即可加工，从而使加工效率提高和加工成本降低；用于固定上盖与基座的若干对应设置的上盖螺钉孔和上盖安装螺钉孔呈不对称状分布，这样的设置可以使上盖在装配到基座上时具有唯一的装配方向，进而使上盖与基座装配后，形成一个完全封闭的磁场导通回路，使该结构具有良好的磁屏蔽效果。

附图说明

图1为本申请实施例提供的MEMS总体结构第一示意图；

图2为本申请实施例提供的MEMS总体结构第二示意图；