[实用新型]片材翻转设备

说明书

本实用新型提出了一种片材翻转设备，包括：盛放台，用于放置多个片材；夹持装置，用于在盛放台上取出或放置部分片材；夹持装置包括：至少两个相对设置的转动件；工作夹板，可拆卸地设于转动件，工作夹板背离转动件的一端设有多个夹持部；夹持装置位于盛放台上方时，转动件带动工作夹板转动，以使夹持部间隔地在盛放台上夹取或放置片材。通过将工作夹板设置为与转动件可拆卸的连接方式，从而可以在当前的工作夹板与片材的尺寸不适配时，将其更换为与当前片材尺寸适配的工作夹板，使片材翻转设备适用于多种规格的片材，提高工作效率，降低更换成本。

技术领域

本实用新型属于半导体制造技术领域，具体而言，涉及一种片材翻转设备。

背景技术

晶圆清洗前为了方便运输一般都是将晶圆均朝向一个方向排布，由于晶圆清洗的工艺要求，在晶圆清洗过程中需要将晶圆的晶面对着晶面，晶背对着晶背，现有技术中的晶圆翻面装置，夹持臂固定连接于晶圆翻面装置中，当翻转不同尺寸的晶圆时，夹持臂与晶圆尺寸不匹配，需要更换整套晶圆翻面装置，工作效率较低，更换成本较高。

实用新型内容

本实用新型旨在解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的第一方面提出了一种片材翻转设备，包括：盛放台，用于放置多个片材；夹持装置，位于盛放台的上方或下方，用于在盛放台上取出或放置部分片材；夹持装置包括：至少两个相对设置的转动件，两个相对设置的转动件合围成操作区；工作夹板，可拆卸地设于转动件，工作夹板背离转动件的一端设有多个夹持部；其中，夹持装置位于盛放台上方时，片材位于操作区内，转动件带动工作夹板转动，以使夹持部间隔地在盛放台上夹取或放置部分片材。

本实用新型提供的片材翻转设备，包括盛放台和夹持装置，可通过夹持装置对放置于盛放台上的部分片材进行取放。具体地，盛放台用于放置多个片材，多个片材规律地以同一角度放置于盛放台上。夹持装置位于盛放台的一侧，可位于盛放台的上方或下方，夹持装置的尺寸以及位置均可调整，从而使夹持装置与盛放台上的片材适配，以实现通过夹持装置对放置于盛放台上的部分片材进行取出或放置。

具体地，夹持装置包括至少两个转动件和工作夹板，其中至少两个转动件相对设置，从而使至少两个转动件之间形成了一定的空间，该空间为操作区。工作夹板的一端与转动件连接，另一端设有多个夹持部，夹持部与片材的尺寸相适配，可通过夹持部对片材进行取放。

进一步地，夹持装置位于盛放台上方时，片材位于至少两个转动件之间的操作区内，转动件带动工作夹板转动，以使夹持部间隔地在盛放台上夹取或放置片材。具体地，转动件可进行转动，操作区两侧的转动件以相反的方向转动，从而在转动件的带动下，工作夹板进行相向运动或背离运动，以调整相对设置的两个夹板之间的距离，使调整后的距离与放置于盛放台上的片材尺寸相适配，实现对片材的取放。当相对设置的两个工作夹板之间的距离调整至合适的尺寸时，夹持部对片材进行间隔地取放。可理解地，多个夹持部间隔地设置于工作夹板，相邻的两个夹持部之间留有一定距离，从而使夹持部在夹取片材时，部分片材位于相邻的两个夹持部之间的间隙中，进而实现对部分片材的间隔取放。

进一步地，工作夹板可拆卸地连接于转动件，为了使工作夹板可以适配于多种尺寸的片材，可在当前的工作夹板与片材的尺寸不适配时，将当前工作夹板拆卸下来，并将其更换为另一种与当前片材的尺寸适配的工作夹板，从而实现对多种尺寸片材的取放。

通过在片材翻转设备中设置夹持装置，并在夹持装置的工作夹板上间隔设置多个夹持部，从而实现对片材的间隔取放，使片材最终能够有规律地调整放置方向。并且，通过将工作夹板设置为与转动件可拆卸的连接方式，从而可以在当前的工作夹板与片材的尺寸不适配时，将其更换为与当前片材尺寸适配的工作夹板，使片材翻转设备适用于多种规格的片材，提高工作效率，降低更换成本。

另外，根据本实用新型上述技术方案提供的片材翻转设备，还具有如下附加技术特征：

在一种可能的设计中，工作夹板可以根据不同尺寸的片材来进行适配更替。