[实用新型]一种砷化镓晶片表面清洗工装

权利要求书

1.一种砷化镓晶片表面清洗工装，其特征在于，包括

转动组件(100)，所述转动组件(100)包括清洗池(110)、电机(120)、固定框(130)、弧形板(140)、螺纹杆(150)、固定板(160)、弹性件(170)和夹板(180)，所述电机(120)安装于所述清洗池(110)底部且输出轴延伸进所述清洗池(110)内，所述固定框(130)固定连接于所述电机(120)输出轴，所述弧形板(140)设置于所述固定框(130)内，所述螺纹杆(150)螺纹贯穿所述固定框(130)，所述固定板(160)活动连接于所述螺纹杆(150)端部，所述弹性件(170)设置于所述固定板(160)和所述夹板(180)之间；

清洗组件(200)，所述清洗组件(200)包括水管(210)、喷头(220)和排液管(230)，所述水管(210)设置于所述清洗池(110)内，所述喷头(220)连通设置于所述水管(210)一侧，所述排液管(230)连通设置于所述清洗池(110)底部。

2.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装，其特征在于，所述弹性件(170)包括固定管(171)、滑杆(172)和弹簧(173)，所述固定管(171)固定连接于所述固定板(160)一侧，所述滑杆(172)一端滑动设置于所述固定管(171)内，所述滑杆(172)另一端固定连接于所述夹板(180)，所述弹簧(173)套设于所述固定管(171)和所述滑杆(172)外侧。

3.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装，其特征在于，所述固定板(160)一侧设置有导向杆(161)，所述导向杆(161)滑动贯穿所述固定框(130)。

4.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装，其特征在于，所述夹板(180)开设有弧形槽(181)，所述夹板(180)上开设有与所述弧形槽(181)相连通的限位槽(182)。

5.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装，其特征在于，所述螺纹杆(150)远离所述固定板(160)一端固定连接有手轮(151)。

6.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装，其特征在于，所述电机(120)外侧设置有加强筋(121)，所述加强筋(121)固定连接于所述清洗池(110)。

7.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装，其特征在于，所述清洗池(110)内设置有导液板(190)，所述导液板(190)倾斜朝向所述排液管(230)。

8.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装，其特征在于，所述清洗组件(200)还包括储水箱(240)、过滤网组(250)和液泵(260)，所述清洗池(110)底部设置有支撑腿(111)，所述支撑腿(111)一侧设置有承载板(112)，所述储水箱(240)安装于所述承载板(112)顶部，所述排液管(230)连通所述储水箱(240)，所述过滤网组(250)设置于所述储水箱(240)内，所述液泵(260)安装于所述承载板(112)顶部，所述液泵(260)进液端连通所述储水箱(240)，所述液泵(260)出液端连通所述水管(210)。

9.根据权利要求8所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装，其特征在于，所述过滤网组(250)包括粗过滤网(251)和细过滤网(252)，所述粗过滤网(251)设置于所述储水箱(240)内，所述细过滤网(252)设置于所述储水箱(240)内且位于所述粗过滤网(251)下方。

10.根据权利要求9所述的一种砷化镓晶片表面清洗工装，其特征在于，所述储水箱(240)顶部连通设置有加液管(241)。