[实用新型]一种砷化镓晶片表面清洗工装有效

专利信息
申请号: 202123203335.8 申请日: 2021-12-20
公开(公告)号: CN216460459U 公开(公告)日: 2022-05-10
发明(设计)人: 袁宁;张双双;华平壤 申请(专利权)人: 派尼尔科技(天津)有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;H01L21/67;H01L21/02;B01D29/03;B01D29/58
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300000 天津市滨海新区经济技*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 砷化镓 晶片 表面 清洗 工装
【说明书】:

本申请提供了一种砷化镓晶片表面清洗工装,属于砷化镓清洗技术领域。该砷化镓晶片表面清洗工装包括转动组件和清洗组件,所述转动组件包括清洗池、电机、固定框、弧形板、螺纹杆、固定板、弹性件和夹板,所述清洗组件包括水管、喷头和排液管,所述水管设置于所述清洗池内,所述喷头连通设置于所述水管一侧,所述排液管连通设置于所述清洗池底部,通过设置清洗池、电机、固定框、弧形板、螺纹杆、固定板、弹性件和夹板,能够对砷化镓晶片夹紧固定,同时带动其在清洗池内转动,能够调节对砷化镓晶片夹紧程度,提高实用性,通过设置括水管、喷头和排液管,能够对清洗池内转动的砷化镓晶片进行全方面的冲刷。

技术领域

本申请涉及砷化镓清洗领域,具体而言,涉及一种砷化镓晶片表面清洗工装。

背景技术

砷化镓是一种重要的半导体材料,砷化镓可以制成电阻率比硅和锗高3个数量级以上的半绝缘高阻材料,用来制作集成电路衬底和红外探测器等,砷化镓在微波器件、高速数字电路、移动电话、卫星通讯、微波点对点连线和雷达系统等领域得到重要应用,由于砷化镓具有较高的表面活性,导致在砷化镓晶片切割过程中产生的颗粒极易附着在砷化镓晶片表面,制作过程中需要对砷化镓表面进行清洗。

目前市场上现有的砷化镓晶片清洗工装在进行清洗时,只能单侧进行清洗,清洗的不够全面,清洗效果差影响产品质量,不方便使用者的使用。

实用新型内容

为了弥补以上不足,本申请提供了一种砷化镓晶片表面清洗工装,旨在改善上述背景技术中提到问题。

本申请实施例提供了一种砷化镓晶片表面清洗工装包括转动组件和清洗组件。

所述转动组件包括清洗池、电机、固定框、弧形板、螺纹杆、固定板、弹性件和夹板,所述电机安装于所述清洗池底部且输出轴延伸进所述清洗池内,所述固定框固定连接于所述电机输出轴,所述弧形板设置于所述固定框内,所述螺纹杆螺纹贯穿所述固定框,所述固定板活动连接于所述螺纹杆端部,所述弹性件设置于所述固定板和所述夹板之间。

所述清洗组件包括水管、喷头和排液管,所述水管设置于所述清洗池内,所述喷头连通设置于所述水管一侧,所述排液管连通设置于所述清洗池底部。

在上述实现过程中,通过设置清洗池、电机、固定框、弧形板、螺纹杆、固定板、弹性件和夹板,能够对砷化镓晶片夹紧固定,同时带动其在清洗池内转动,能够调节对砷化镓晶片夹紧程度,提高实用性,通过设置括水管、喷头和排液管,能够对清洗池内转动的砷化镓晶片进行全方面的冲刷。

在一种具体的实施方案中,所述弹性件包括固定管、滑杆和弹簧,所述固定管固定连接于所述固定板一侧,所述滑杆一端滑动设置于所述固定管内,所述滑杆另一端固定连接于所述夹板,所述弹簧套设于所述固定管和所述滑杆外侧。

在上述实现过程中,通过设置固定管、滑杆和弹簧,能够对夹板产生弹性作用夹紧砷化镓晶片。

在一种具体的实施方案中,所述固定板一侧设置有导向杆,所述导向杆滑动贯穿所述固定框。

在上述实现过程中,通过设置导向杆,用于限制固定板转动,避免其随着螺纹杆转动而转动。

在一种具体的实施方案中,所述夹板开设有弧形槽,所述夹板上开设有与所述弧形槽相连通的限位槽。

在上述实现过程中,通过开设弧形槽和限位槽,有利于夹紧限位砷化镓晶片。

在一种具体的实施方案中,所述螺纹杆远离所述固定板一端固定连接有手轮。

在上述实现过程中,通过设置手轮,便于通过转动手轮来带动螺纹杆转动。

在一种具体的实施方案中,所述电机外侧设置有加强筋,所述加强筋固定连接于所述清洗池。

在上述实现过程中,通过设置加强筋,用于加强电机安装的牢固性。

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