[实用新型]具有防护结构的镀膜装置

权利要求书

1.一种具有防护结构的镀膜装置，其特征在于，包括：

镀膜腔，靶材和基板均设置于所述镀膜腔内；

磁悬浮组件，设置于所述镀膜腔内，所述磁悬浮组件包括磁悬浮轨道和移动件，所述移动件设置于所述磁悬浮轨道的下方，与所述磁悬浮轨道相互作用实现磁悬浮，所述磁悬浮组件用于输送所述基板至镀膜位置，所述基板固定于所述移动件上；

防护组件，设置于所述镀膜腔内且与所述靶材的位置相对固定，所述防护组件包括防护罩和防护板，所述防护罩位于所述磁悬浮轨道的下方，所述防护罩罩设于所述移动件的上端且避让所述基板设置，所述防护板设置于所述防护罩的内壁靠近所述基板处。

2.根据权利要求1所述的具有防护结构的镀膜装置，其特征在于，所述防护罩沿所述移动件的移动方向的两端为敞口结构。

3.根据权利要求1所述的具有防护结构的镀膜装置，其特征在于，所述防护罩垂直于所述移动件的移动方向的截面为矩形结构。

4.根据权利要求1所述的具有防护结构的镀膜装置，其特征在于，所述防护罩至少外侧壁朝向所述移动件凹陷设置有凹部。

5.根据权利要求1至4任一项所述的具有防护结构的镀膜装置，其特征在于，所述防护罩的下端面与所述靶材的上端面平齐。

6.根据权利要求1至4任一项所述的具有防护结构的镀膜装置，其特征在于，所述防护板设置有两个，两个所述防护板沿垂直于所述移动件的移动方向相对设置于移动件的两侧。

7.根据权利要求1至4任一项所述的具有防护结构的镀膜装置，其特征在于，所述防护板和所述防护罩一体设置；或，

所述防护板和所述防护罩可拆卸连接。

8.根据权利要求1至4任一项所述的具有防护结构的镀膜装置，其特征在于，所述防护板和所述防护罩可拆卸连接；和/或且所述防护板包括相对位置可调的第一板和第二板，所述第一板为L型结构，所述L型结构的一边连接于所述防护罩，所述L型结构的另一边设置有插接槽，所述第二板平行于所述L型结构的另一边插设于所述插接槽内。

9.根据权利要求1所述的具有防护结构的镀膜装置，其特征在于，所述防护组件由不锈钢或者钛材质制成。

10.根据权利要求1所述的具有防护结构的镀膜装置，其特征在于，所述防护组件可拆卸连接于所述镀膜腔的内壁。