[实用新型]具有防护结构的镀膜装置

说明书

本实用新型公开一种具有防护结构的镀膜装置，包括镀膜腔、磁悬浮组件和防护组件，磁悬浮组件和防护组件均设置于镀膜腔内，镀膜腔可为基板提供镀膜所需的环境。磁悬浮组件包括磁悬浮轨道和移动件，移动件设置于磁悬浮轨道的下方，与磁悬浮轨道相互作用实现磁悬浮，磁悬浮组件用于输送基板至镀膜位置。防护组件包括防护罩和防护板，防护罩夹设于磁悬浮轨道和移动件之间，且罩设于移动件的上端，以此保护固定于移动件上的靶材免受从镀膜腔内壁上脱落的薄膜碎片污染，而防护板设置于防护罩的内壁靠近基板处，则可避免靶材粒子飞溅沉积于移动件上。该具有防护结构的镀膜装置能够有效阻挡沉积的薄膜脱落对基板造成的污染，提高基板的镀膜质量。

技术领域

本实用新型涉及镀膜加工技术领域，尤其涉及一种具有防护结构的镀膜装置。

背景技术

在真空环境中，利用高能离子轰击靶材，使得靶材飞溅出粒子并沉积于基板上形成薄膜，称为真空溅射镀膜，这是显示面板制造过程的重要一环。现有技术存在以下缺陷：在镀膜过程中，靶材和基板都位于镀膜腔内，因此被轰击飞溅出的靶材粒子不仅会沉积于基板上形成薄膜，还会飞溅至镀膜腔的内壁上并沉积成膜，但是内壁表面的薄膜累积至一定程度后会脱落，碎片在脱落的过程中则有可能会落到需要镀膜的基板上，从而增加显示面板的暗点，导致显示面板不良率增加。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种具有防护结构的镀膜装置，能够有效阻挡沉积的薄膜脱落对基板造成的污染，提高基板的镀膜质量。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种具有防护结构的镀膜装置，包括：

镀膜腔，靶材和基板均设置于所述镀膜腔内；

磁悬浮组件，设置于所述镀膜腔内，所述磁悬浮组件包括磁悬浮轨道和移动件，所述移动件设置于所述磁悬浮轨道的下方，与所述磁悬浮轨道相互作用实现磁悬浮，所述磁悬浮组件用于输送所述基板至镀膜位置，所述基板固定于所述移动件上；

防护组件，设置于所述镀膜腔内且与所述靶材的位置相对固定，所述防护组件包括防护罩和防护板，所述防护罩位于所述磁悬浮轨道的下方，所述防护罩罩设于所述移动件的上端且避让所述基板设置，所述防护板设置于所述防护罩的内壁靠近所述基板处。

作为具有防护结构的镀膜装置的一种优选方案，所述防护罩沿所述移动件的移动方向的两端为敞口结构。

作为具有防护结构的镀膜装置的一种优选方案，所述防护罩垂直于所述移动件的移动方向的截面为矩形结构。

作为具有防护结构的镀膜装置的一种优选方案，所述防护罩至少外侧壁朝向所述移动件凹陷设置有凹部。

作为具有防护结构的镀膜装置的一种优选方案，所述防护罩的下端面与所述靶材的上端面平齐。

作为具有防护结构的镀膜装置的一种优选方案，所述防护板设置有两个，两个所述防护板沿垂直于所述移动件的移动方向相对设置于移动件的两侧。

作为具有防护结构的镀膜装置的一种优选方案，所述防护板和所述防护罩一体设置；或，

所述防护板和所述防护罩可拆卸连接。

作为具有防护结构的镀膜装置的一种优选方案，所述防护板和所述防护罩可拆卸连接，且所述防护板包括相对位置可调的第一板和第二板，所述第一板为L型结构，所述L型结构的一边连接于所述防护罩，所述L型结构的另一边设置有插接槽，所述第二板平行于所述L型结构的另一边插设于所述插接槽内。

作为具有防护结构的镀膜装置的一种优选方案，所述防护组件由不锈钢或者钛材质制成。

作为具有防护结构的镀膜装置的一种优选方案，所述防护组件可拆卸连接于所述镀膜腔的内壁。