[实用新型]一种晶圆划片机表面除水装置

权利要求书

1.一种晶圆划片机表面除水装置，包括压缩空气气枪，其特征在于：所述压缩空气气枪(1)与气管(3)连通，所述气管(3)上连接不锈钢吹气管(5)，所述不锈钢吹气管(5)设置在设备划片舱内，所述不锈钢吹气管(5)上的吹气孔(6)朝向工作台方向。

2.根据权利要求1所述的晶圆划片机表面除水装置，其特征在于：所述不锈钢吹气管(5)的长度与划片机内部划片舱的长度相匹配，所述不锈钢吹气管(5)上设置有数个吹气孔(6)，数个所述吹气孔(6)沿不锈钢吹气管(5)的长度方向均布，数个所述吹气孔(6)并列布置。

3.根据权利要求2所述的晶圆划片机表面除水装置，其特征在于：所述压缩空气气枪(1)与气管(3)之间通过第一快速接头(2)连接，所述气管(3)与不锈钢吹气管(5)之间通过第二快速接头(4)连接，所述第一快速接头(2)和所述第二快速接头(4)均为两通快速接头。

4.根据权利要求3所述的晶圆划片机表面除水装置，其特征在于：所述不锈钢吹气管(5)的管径为6-10mm，所述不锈钢吹气管(5)上设置的吹气孔(6)数量为6-10个，所述吹气孔(6)的直径为1-2mm。

5.根据权利要求1所述的晶圆划片机表面除水装置，其特征在于：所述吹气孔(6)吹出气体的方向与工作台的夹角为45-90°。

6.根据权利要求1所述的晶圆划片机表面除水装置，其特征在于：所述压缩空气气枪(1)的出气口与气管(3)连通，所述气管(3)穿过设备划片舱上的气管进出孔进入到设备划片舱内；所述不锈钢吹气管(5)设置在设备划片舱与上料舱之间的隔板上。