[实用新型]一种晶圆划片机表面除水装置

说明书

本实用新型涉及晶圆划片机技术领域，具体涉及一种晶圆划片机表面除水装置，包括压缩空气气枪，所述压缩空气气枪与气管连通，所述气管在末端连接有不锈钢吹气管，所述不锈钢吹气管设置在设备划片舱内，所述不锈钢吹气管上的吹气孔朝向工作台方向。目的在于通过在压缩空气气枪上增加气管，并通过快速接头连接不锈钢吹气管，可以将不锈钢吹气管长期置于设备划片舱内，在使用时无需重复开启舱门将压缩空气气枪伸入，避免了额外作业成本，也避免了晶圆由于误操作而受损。

技术领域

本实用新型属于晶圆划片机技术领域，具体涉及一种晶圆划片机表面除水装置。

背景技术

在半导体封装工艺流程中，晶圆划片是非常重要的环节，划片进行时，需要在程序中设置自动暂停或者手动暂停划片，查看划片道的情况，是否存在偏移或者崩边较大的情况，如存在，则需要考虑停止划片，修正参数后重新进行划片。

由于在划片进行时需要使用去离子水冷却划片刀与晶圆，以及带走切屑残渣的介质，所以暂停划片后，会有大量去离子水残留在划片道上，此时，通过显微镜观察划片道情况，但由于去离子水的存在，无法清晰观察划片道的实际状况。现有的设备只能使用自带的压缩空气气枪，打开舱门，伸入到舱内，按压气枪气阀吹走晶圆表面残留在划片道内的多余水分；但是，打开舱门，并且伸入气枪这一动作既降低了作业效率，也加大了错误风险，气枪如若脱落掉落在晶圆上，会导致晶圆本身甚至划片机设备工作台都损坏的可能。

发明内容

本实用新型为了解决去离子水停留在划片道上，造成显微镜无法观有效察到划片道情况的问题，提供了一种晶圆划片机表面除水装置，该装置通过在压缩空气气枪上增加气管，并通过快速接头连接不锈钢吹气管，可以将不锈钢吹气管长期置于设备划片舱内，在使用时无需重复开启舱门将压缩空气气枪伸入，避免了额外作业成本，也避免了晶片由于误操作而受损。

本实用新型所采用的技术方案是：一种晶圆划片机表面除水装置，包括压缩空气气枪，所述压缩空气气枪与气管连通，所述气管上连接有不锈钢吹气管，所述不锈钢吹气管设置在设备划片舱内，所述不锈钢吹气管上的吹气孔朝向工作台方向。

优选的，所述不锈钢吹气管的长度与划片机内部划片舱的长度相匹配，所述不锈钢吹气管上设置有数个吹气孔，数个所述吹气孔沿不锈钢吹气管的长度方向均布，数个所述吹气孔并列布置。

优选的，所述压缩空气气枪与气管之间通过第一快速接头连接，所述气管与不锈钢吹气管之间通过第二快速接头连接，所述第一快速接头和所述第二快速接头均为两通快速接头。

优选的，所述不锈钢吹气管的管径为6-10mm，所述不锈钢吹气管上设置的吹气孔数量为6-10个，所述吹气孔的直径为1-2mm。

优选的，所述吹气孔吹出气体的方向与工作台的夹角为45-90°。

优选的，所述压缩空气气枪的出气口与气管连通，所述气管穿过设备划片舱上的气管进出孔进入到设备划片舱内；所述不锈钢吹气管设置在设备划片舱与上料舱之间的隔板上。

本实用新型的有益之处在于：通过末端不锈钢吹气管上均匀分布的出气孔，能够最大程度吹走晶圆表面的多余水分，使得去离子水不会残留在划片道上，便于通过显微镜观察划片道情况；通过本实用新型的表面除水装置，在吹气的过程中，无须打开舱门，也无须将气枪伸入舱内，最大程度降低开舱门后气枪跌落至晶圆表面进而损毁晶圆的风险；本实用新型装置无需外加气源，利用气枪本身气源即可实现吹气功能，无需额外增加使用成本，且通过本实用新型表面除水装置的设计，随时都可以进行晶圆表面除水作业，观察划片道情况，从而保证划片作业更加精确。

附图说明

图1为本实用新型的结构连接原理图；

图2为不锈钢吹气管的结构示意图。

图中：1-压缩空气气枪；2-第一快速接头；3-气管；4-第二快速接头；5-不锈钢吹气管；6-吹气孔。

具体实施方式