[实用新型]自动供液气液分离药液回流系统有效

专利信息
申请号: 202123218365.6 申请日: 2021-12-20
公开(公告)号: CN216413026U 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 陈文军;张中;谢雨龙;徐海;马丹 申请(专利权)人: 江苏芯德半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;F17D1/08;F17D3/01
代理公司: 无锡华越知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32571 代理人: 苏霞
地址: 210000 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 自动 供液气液 分离 药液 回流 系统
【权利要求书】:

1.自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,包括进液管、出液管、过滤器、清洗部和气液分离部,所述进液管的前端通过第一管道连接原液桶,所述进液管的后端连通过滤器,所述出液管的前端连接过滤器,所述出液管的后端通过第二管道连接湿法设备,所述进液管上设有清洗部,所述出液管上设有气液分离部,所述气液分离部连通原液回收桶,所述气液分离部设置在出液管的上方。

2.根据权利要求1所述的自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,所述气液分离部包括第三管道、排气组件和回流组件,所述第三管道连接出液管,所述第三管道上并列设置排气组件和回流组件。

3.根据权利要求2所述的自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,所述排气组件包括第四管道、液体感应器和第一阀门,所述第四管道的前端连通第三管道,所述第四管道的后端设有第一阀门,所述液体感应器设置在第四管道内。

4.根据权利要求2所述的自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,所述回流组件包括第五管道和第二阀门,所述第五管道的前端连通第三管道,所述第五管道上设有第二阀门,所述第五管道的后端连接原液回收桶。

5.根据权利要求1所述的自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,所述进液管上设有第三阀门。

6.根据权利要求1所述的自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,所述出液管上设有第四阀门。

7.根据权利要求1-6任一项所述的自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,所述过滤器为U型液体过滤器,所述过滤器的底部设有排废口,所述排废口上设有第五阀门。

8.根据权利要求1-6任一项所述的自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,所述清洗部包括第六管道、第七管道、第六阀门和第七阀门,所述第六管道的前端连通进液管,所述第六管道上设有第六阀门,所述第六管道的后端连通氮气储罐,所述第七管道的前端连通第六管道,所述第七管道上设有第七阀门,所述第七管道的后端连通纯水储罐。

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