[实用新型]自动供液气液分离药液回流系统有效
申请号: | 202123218365.6 | 申请日: | 2021-12-20 |
公开(公告)号: | CN216413026U | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 陈文军;张中;谢雨龙;徐海;马丹 | 申请(专利权)人: | 江苏芯德半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;F17D1/08;F17D3/01 |
代理公司: | 无锡华越知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32571 | 代理人: | 苏霞 |
地址: | 210000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动 供液气液 分离 药液 回流 系统 | ||
1.自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,包括进液管、出液管、过滤器、清洗部和气液分离部,所述进液管的前端通过第一管道连接原液桶,所述进液管的后端连通过滤器,所述出液管的前端连接过滤器,所述出液管的后端通过第二管道连接湿法设备,所述进液管上设有清洗部,所述出液管上设有气液分离部,所述气液分离部连通原液回收桶,所述气液分离部设置在出液管的上方。
2.根据权利要求1所述的自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,所述气液分离部包括第三管道、排气组件和回流组件,所述第三管道连接出液管,所述第三管道上并列设置排气组件和回流组件。
3.根据权利要求2所述的自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,所述排气组件包括第四管道、液体感应器和第一阀门,所述第四管道的前端连通第三管道,所述第四管道的后端设有第一阀门,所述液体感应器设置在第四管道内。
4.根据权利要求2所述的自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,所述回流组件包括第五管道和第二阀门,所述第五管道的前端连通第三管道,所述第五管道上设有第二阀门,所述第五管道的后端连接原液回收桶。
5.根据权利要求1所述的自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,所述进液管上设有第三阀门。
6.根据权利要求1所述的自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,所述出液管上设有第四阀门。
7.根据权利要求1-6任一项所述的自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,所述过滤器为U型液体过滤器,所述过滤器的底部设有排废口,所述排废口上设有第五阀门。
8.根据权利要求1-6任一项所述的自动供液气液分离药液回流系统,其特征在于,所述清洗部包括第六管道、第七管道、第六阀门和第七阀门,所述第六管道的前端连通进液管,所述第六管道上设有第六阀门,所述第六管道的后端连通氮气储罐,所述第七管道的前端连通第六管道,所述第七管道上设有第七阀门,所述第七管道的后端连通纯水储罐。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造