[实用新型]一种绑定大尺寸氧化铌靶材用的模具

权利要求书

1.一种绑定大尺寸氧化铌靶材用的模具，包括铜板(2)，铜板(2)包括正面和背面；所述铜板(2)的正面开设有嵌合槽(21)，嵌合槽(21)的内部嵌合有由若干块氧化铌拼接而成的靶材(1)；所述靶材(1)与嵌合槽(21)槽底之间设置有一层金属铟(3)，其特征在于：所述铜板(2)的背面开设有冷风通道(23)，冷风通道(23)的内部设置有温度传感器；所述温度传感器的输出端连接有PLC控制器。

2.根据权利要求1所述的一种绑定大尺寸氧化铌靶材用的模具，其特征在于：所述冷风通道(23)的位置与嵌合槽(21)的位置相对应。

3.根据权利要求1所述的一种绑定大尺寸氧化铌靶材用的模具，其特征在于：所述冷风通道(23)的顶部轮廓与嵌合槽(21)的底部轮廓相适配。

4.根据权利要求1所述的一种绑定大尺寸氧化铌靶材用的模具，其特征在于：所述铜板(2)的边沿开设有若干固定通孔(22)。

5.根据权利要求1所述的一种绑定大尺寸氧化铌靶材用的模具，其特征在于：所述冷风通道(23)的进风口通过进风管道连接有冷风机，冷风机的受控端与PLC控制器的输出端连接。

6.根据权利要求5所述的一种绑定大尺寸氧化铌靶材用的模具，其特征在于：所述冷风通道(23)的出风口通过出风管道连接有引风机，引风机的受控端与PLC控制器的输出端连接。