[实用新型]一种绑定大尺寸氧化铌靶材用的模具

说明书

本实用新型公开了一种绑定大尺寸氧化铌靶材用的模具，包括铜板，铜板包括正面和背面；所述铜板的正面开设有嵌合槽，嵌合槽的内部嵌合有由若干块氧化铌拼接而成的靶材；所述靶材与嵌合槽槽底之间设置有一层金属铟，其中，所述铜板的背面开设有冷风通道，冷风通道的内部设置有温度传感器；所述温度传感器的输出端连接有PLC控制器。本实用新型结构简单、成本低且维护方便，可满足对靶材较大尺寸的绑定要求，通过设置在铜板上的冷风通道、冷风通道内的温度传感器以及冷风通道连接的冷风机和引风机，可提高靶材的散热效果，从而可防止溅射过程中靶材龟裂甚至断裂而影响溅射；通过设置的PLC控制器，可实现散热效果的自动控制，自动化程度高。

技术领域

本实用新型涉及氧化铌靶材生产技术领域，具体涉及一种绑定大尺寸氧化铌靶材用的模具。

背景技术

氧化铌溅射靶材是制备高折射率薄膜的溅射材料，应用在液晶显示器 (LCD)、等离子显示器(PDP)、触摸屏(Touch Panel)、光学镜片等方面。

随着半导体技术的迅猛发展，以及为了达到更好的溅射效果，对靶材的尺寸要求也相应增长(有时其长度需达到1米以上)。但因现有设备限制且为了生产方便，现有的靶材的尺寸较小(一般长度为0.2～0.4米)无法满足一些溅射镀膜要求，此外，氧化铌靶材在溅射过程中常因断裂而影响后续溅射。

为了解决上述问题，实用新型专利公开号CN210974859U公开了一种氧化铌靶材，可满足对靶材较大尺寸的要求，此外，铜板和水冷槽的设计使得靶材的散热效果好，从而可防止溅射过程中靶材龟裂甚至断裂而影响溅射。但采用水冷系统散热存在价格昂贵的问题，此外，以水作为循环体及导热体，对于布线与将来的拆卸和清洁有一定的困难。因此，能成本低且保证绑定质量的大尺寸氧化铌靶材，是现阶段本技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型需要解决的技术问题是提供一种绑定大尺寸氧化铌靶材用的模具，不但可有效保证绑定钎焊率，而且成本低且维护方便。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案如下。

一种绑定大尺寸氧化铌靶材用的模具，包括铜板，铜板包括正面和背面；所述铜板的正面开设有嵌合槽，嵌合槽的内部嵌合有由若干块氧化铌拼接而成的靶材；所述靶材与嵌合槽槽底之间设置有一层金属铟，其中，所述铜板的背面开设有冷风通道，冷风通道的内部设置有温度传感器；所述温度传感器的输出端连接有PLC控制器。

优选的，所述冷风通道的位置与嵌合槽的位置相对应。

优选的，所述冷风通道的顶部轮廓与嵌合槽的底部轮廓相适配。

优选的，所述铜板的边沿开设有若干固定通孔。

优选的，所述冷风通道的进风口通过进风管道连接有冷风机，冷风机的受控端与PLC控制器的输出端连接。

优选的，所述冷风通道的出风口通过出风管道连接有引风机，引风机的受控端与PLC控制器的输出端连接。

由于采用了以上技术方案，本实用新型所取得技术进步如下。

本实用新型结构简单、成本低且维护方便，可满足对靶材较大尺寸的绑定要求，通过设置在铜板上的冷风通道、冷风通道内的温度传感器以及冷风通道连接的冷风机和引风机，可提高靶材的散热效果，从而可防止溅射过程中靶材龟裂甚至断裂而影响溅射；通过设置的PLC控制器，可实现散热效果的自动控制，自动化程度高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的侧视图。

其中：1.靶材、2.铜板、21.嵌合槽、22.固定通孔、23.冷风通道、3.金属铟。

具体实施方式