[实用新型]一种用于半导体无尘室的除尘风机系统

权利要求书

1.一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，其特征在于：包括若干风机、控制盒、监测装置、无线通信模块及移动终端，所述风机包括移动底座和风机本体，所述移动底座用于带动所述风机本体移动，所述移动底座上还设有定位模块用于定位所述风机的位置，所述监测装置包括若干尘埃监测器，所述控制盒通过所述无线通信模块与所述风机、监测装置及移动终端电连接。

2.如权利要求1所述的一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，其特征在于：所述控制盒包括控制盒体和设置在所述控制盒体内的CPU模块、DI模块及DO模块，所述DI模块用于实时接收所述尘埃监测器的监测数据和所述定位模块的定位数据，并将监测数据和定位数据传输到CPU模块进行分析处理，所述CPU模块通过所述DO模块控制移动底座的移动和所述风机本体的运行，所述CPU模块通过无线通信模块连接所述移动终端。

3.如权利要求2所述的一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，其特征在于：所述控制盒还包括传输模块，所述传输模块用于所述CPU模块与DI模块、DO模块间的数据传输，所述传输模块采用FPC数据连接器。

4.如权利要求1所述的一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，其特征在于：还包括若干警报器，所述警报器与所述尘埃监测器相邻设置，且其通过所述无线通信模块与所述控制盒电连接。

5.如权利要求1所述的一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，其特征在于：所述无线通信模块为WAN/LAN、4G、5G及WIFI中的一种或者其中两种、三种的组合。

6.如权利要求1所述的一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，其特征在于：所述定位模块采用GPS定位器。

7.如权利要求1所述的一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，其特征在于：所述移动终端为计算机、智能手机或平板电脑。