[实用新型]一种用于半导体无尘室的除尘风机系统

说明书

本实用新型公开了一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，包括若干风机、控制盒、监测装置、无线通信模块及移动终端，所述风机包括移动底座和风机本体，所述移动底座用于带动所述风机本体移动，所述移动底座上还设有定位模块用于定位所述风机的位置，所述监测装置包括若干尘埃监测器，所述控制盒通过所述无线通信模块与所述风机、监测装置及移动终端电连接。本实用新型的目的在于提供一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，通过在半导体无尘室内设置若干个尘埃监测器，每个尘埃监测器实时监测该区域的尘埃状态并发送至控制盒，控制盒控制若干个风机移动倒需要除尘的区域内进行除尘，智能进行除尘，提高除尘效果且降低成本。

技术领域

本实用新型涉及除尘技术领域，具体涉及一种用于半导体无尘室的除尘风机系统。

背景技术

现有的无尘室除尘效果较为一般，但在半导体加工制造业中，对无尘室的空气清洁度都有较高的要求，因此，需要对无尘室的PM2.5进行严格的管控，才能保证半导体的质量，现提出一种用于半导体无尘室的除尘风机系统用于提高半导体无尘室的空气清洁度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，通过在半导体无尘室内设置若干个尘埃监测器，每个尘埃监测器实时监测该区域的尘埃状态并发送至控制盒，控制盒控制若干个风机移动倒需要除尘的区域内进行除尘，所述风机本体采用高压静电除尘，除尘效果好，效率高，且控制盒还连接有移动终端还可以远程进行监控和操作，智能进行除尘，提高除尘效果且降低成本。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，包括若干风机、控制盒、监测装置、无线通信模块及移动终端，所述风机包括移动底座和风机本体，所述移动底座用于带动所述风机本体移动，所述移动底座上还设有定位模块用于定位所述风机的位置，所述监测装置包括若干尘埃监测器，所述控制盒通过所述无线通信模块与所述风机、监测装置及移动终端电连接。

优选地，所述控制盒包括控制盒体和设置在所述控制盒体内的CPU模块、DI模块及DO模块，所述DI模块用于实时接收所述尘埃监测器的监测数据和所述定位模块的定位数据，并将监测数据和定位数据传输到CPU模块进行分析处理，所述CPU模块通过所述DO模块控制移动底座的移动和所述风机本体的运行，所述CPU模块通过无线通信模块连接所述移动终端。

优选地，所述控制盒还包括传输模块，所述传输模块用于所述CPU模块与DI模块、DO模块间的数据传输，所述传输模块采用FPC数据连接器。

优选地，还包括若干警报器，所述警报器与所述尘埃监测器相邻设置，且其通过所述无线通信模块与所述控制盒电连接。

优选地，所述无线通信模块为WAN/LAN、4G、5G及WIFI中的一种或者其中两种、三种的组合。

优选地，所述定位模块采用GPS定位器。

优选地，所述移动终端为计算机、智能手机或平板电脑。

采用上述技术方案后，本实用新型与背景技术相比，具有如下优点：

本实用新型一种用于半导体无尘室的除尘风机系统，通过在半导体无尘室内设置若干个尘埃监测器，每个尘埃监测器实时监测该区域的尘埃状态并发送至控制盒，控制盒控制若干个风机移动倒需要除尘的区域内进行除尘，所述风机本体采用高压静电除尘，除尘效果好，效率高，且控制盒还连接有移动终端还可以远程进行监控和操作，智能进行除尘，提高除尘效果且降低成本。

附图说明

图1为本实用新型结构框图；

图2为本实用新型风机和控制盒结构示意图。

具体实施方式