[实用新型]一种碳化硅片生产用热处理设备有效
| 申请号： | 202123253664.3 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN216790823U | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 贺贤汉;李有群;章磊;董志勇;孙大方 | 申请（专利权）人： | 上海申和投资有限公司 |
| 主分类号： | F27B9/16 | 分类号： | F27B9/16;F27B9/06;F27B9/36;F27B9/30 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 201900 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化 硅片 生产 热处理 设备 | ||
1.一种碳化硅片生产用热处理设备，包括加热箱(1)，所述加热箱(1)包括有箱体(11)；其特征在于，所述箱体(11)内部设置有联动机构(3)，所述联动机构(3)由空心轴(31)、固定轴(32)、第一锥齿轮(33)、第二锥齿轮(34)和转轴(35)构成；所述空心轴(31)的上端活动穿设于箱体(11)上壁、且连接有驱动机构，同时下端延伸至箱体(11)内部下方；所述固定轴(32)固定安装于箱体(11)内部底面上、且活动穿设于空心轴(31)底端而延伸至空心轴(31)内部；
所述第一锥齿轮(33)有若干个、分别等距离固定套设于所述固定轴(32)，所述转轴(35)有若干组、每组两个、分别活动穿设于所述空心轴(31)左右侧壁而延伸至空心轴(31)内部，所述转轴(35)位于空心轴(31)内部的一端通过第二锥齿轮(34)与所述第一锥齿轮(33)啮合连接；所述转轴(35)的杆壁上设置有承载机构(4)、且箱体(11)内部设置有加热机构(5)。
2.根据权利要求1所述的碳化硅片生产用热处理设备，其特征在于，所述箱体(11)还包括有门体(12)和支架(13)，所述门体(12)设置于所述箱体(11)前侧，所述支架(13)设置于箱体(11)底部。
3.根据权利要求1所述的碳化硅片生产用热处理设备，其特征在于，所述承载机构(4)由套板(41)、连板(42)和网盒(43)组成，所述套板(41)固定套设于所述转轴(35)，所述连板(42)有两个、分别固定安装于所述套板(41)上下两侧，所述网盒(43)固定安装于所述连板(42)上。
4.根据权利要求1所述的碳化硅片生产用热处理设备，其特征在于，所述加热机构(5)由加热板(51)和加热棒(52)组成。
5.根据权利要求4所述的碳化硅片生产用热处理设备，其特征在于，所述加热板(51)安装于所述箱体(11)左右内壁上，所述加热板(51)有若干个，每一个均设置于相邻的两组承载机构(4)之间；所述加热棒(52)设置于所述箱体(11)上下两侧内壁上。
6.根据权利要求1所述的碳化硅片生产用热处理设备，其特征在于，所述驱动机构为固定安装于箱体(11)上侧的电机(2)，所述空心轴(31)上端与所述电机(2)的输出端固定连接。
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