[实用新型]一种碳化硅片生产用热处理设备

说明书

本实用新型公开了热处理装置技术领域的一种碳化硅片生产用热处理设备，包括加热箱，所述加热箱包括有箱体；所述箱体内部设置有联动机构，所述联动机构由空心轴、固定轴、第一锥齿轮、第二锥齿轮和转轴构成；所述空心轴的上端活动穿设于箱体上壁、且连接有驱动机构，同时下端延伸至箱体内部下方；所述固定轴固定安装于箱体内部底面上、且活动穿设于空心轴底端而延伸至空心轴内部；该装置在使用过程中可以通过联动机构带动转轴在水平方向上转动的同时产生自转，进而带动置放于网盒中的碳化硅片随之活动，使得碳化硅片不断进行翻转并不断转换在箱体中的位置，进而使得碳化硅片的受热更加均匀，所以加热板和加热棒对碳化硅片的加热效果更好。

技术领域

本实用新型涉及热处理设备技术领域，具体为一种碳化硅片生产用热处理设备。

背景技术

目前国内生产碳化硅产品厂家，为提高产品的机械性能，均参照热处理工艺对碳化硅进行热处理以提高相应的性能。

但是，现有的碳化硅片生产用热处理设备大多是通过传送带将碳化硅片送入加热室中的，碳化硅片在加热箱中处于静止状态，使得加热机构对碳化硅片的加热难以达到均匀，因此加热效果不佳，会影响后续加工过程的进行，组一种影响产品质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅片生产用热处理设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种碳化硅片生产用热处理设备，包括加热箱，所述加热箱包括有箱体；所述箱体内部设置有联动机构，所述联动机构由空心轴、固定轴、第一锥齿轮、第二锥齿轮和转轴构成；所述空心轴的上端活动穿设于箱体上壁、且连接有驱动机构，同时下端延伸至箱体内部下方；所述固定轴固定安装于箱体内部底面上、且活动穿设于空心轴底端而延伸至空心轴内部；

所述第一锥齿轮有若干个、分别等距离固定套设于所述固定轴，所述转轴有若干组、每组两个、分别活动穿设于所述空心轴左右侧壁而延伸至空心轴内部，所述转轴位于空心轴内部的一端通过第二锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合连接；所述转轴的杆壁上设置有承载机构、且箱体内部设置有加热机构。

优选的，所述箱体还包括有门体和支架，所述门体设置于所述箱体前侧，所述支架设置于箱体底部。

优选的，所述承载机构由套板、连板和网盒组成，所述套板固定套设于所述转轴，所述连板有两个、分别固定安装于所述套板上下两侧，所述网盒固定安装于所述连板上。

优选的，所述加热机构由加热板和加热棒组成。

优选的，所述加热板安装于所述箱体左右内壁上，所述加热板有若干个，每一个均设置于相邻的两组承载机构之间；所述加热棒设置于所述箱体上下两侧内壁上。

优选的，所述驱动机构为固定安装于箱体上侧的电机，所述空心轴上端与所述电机的输出端固定连接；

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该装置在使用过程中可以通过联动机构带动转轴在水平方向上转动的同时产生自转，进而带动置放于网盒中的碳化硅片随之活动，使得碳化硅片不断进行翻转并不断转换在箱体中的位置，进而使得碳化硅片的受热更加均匀，所以加热板和加热棒对碳化硅片的加热效果更好。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的内部结构示意图；

图3为本实用新型中装载机构的结构示意图；

图4为本实用新型中加热板的结构示意图；

图5为本实用新型中联动机构的结构示意图。