[实用新型]一种MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、设置于所述基底的一侧的基座和设置在所述基座上的电容系统，所述电容系统包括背板组件以及与所述背板组件相对且分别间隔设置在所述背板组件两侧的第一振膜和第二振膜，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括具有装配空间且一侧固定连接于所述基座的内侧的悬臂结构，所述悬臂结构的未固定侧与所述基座的内侧形成间隔，所述背板组件包括固定连接于所述悬臂结构且位于所述悬臂结构的装配空间内的子背板组件，所述第一振膜包括固定连接于所述悬臂结构且位于所述悬臂结构的装配空间内的第一子振膜，所述第二振膜包括固定连接于所述悬臂结构且位于所述悬臂结构的装配空间内的第二子振膜。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述悬臂结构包括两端均固定连接于所述基座的内侧的横梁组件，所述横梁组件和所述基座的内侧围合形成所述装配空间，所述横梁组件的背离所述装配空间侧和所述基座的内侧具有间隔。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括一所述悬臂结构，所述横梁组件包括至少两依次相连的横梁，所述依次相连的横梁的首尾两端固定连接于所述基座的内侧，各所述横梁沿着所述基座的内轮廓延伸且和所述基座的内侧形成间隔。

4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括至少两所述悬臂结构，每一所述悬臂结构设有一所述子背板组件、一所述第一子振膜和一所述第二子振膜，各所述横梁组件环绕所述基座的中心等角度间隔设置，相邻的所述横梁组件之间形成狭缝。

5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述横梁组件包括至少两依次相连的横梁，所述依次相连的横梁的首尾两端固定连接于所述基座的内侧，所述横梁组件对应的所述电容系统的一侧固定于所述基座的内侧，所述横梁组件的横梁围设于对应的所述电容系统的未与所述基座相连侧，相邻悬臂结构的横梁之间形成所述狭缝。

6.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述悬臂结构还包括固定于所述横梁背离所述装配空间侧的加强筋，所述加强筋与所述横梁相匹配。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一子振膜和所述第二子振膜均与所述基座的内侧固定连接，所述第一子振膜、所述第二子振膜、所述基座和对应的所述悬臂结构围合形成密闭空间。

8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括与所述悬臂结构相匹配且两端分别固定连接于所述第一子振膜和所述第二子振膜的至少一支撑绝缘件，所述支撑绝缘件贯穿通过所述背板组件。

9.根据权利要求8所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述支撑绝缘件设置有多个，各所述支撑绝缘件环绕所述基座的中心间隔排列。

10.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述子背板组件包括固定连接于所述悬臂结构和所述基座的内侧的背板、第一电极层和第二电极层，所述第一电极层叠设于所述背板靠近所述第一子振膜的板面，所述第二电极层叠设于所述背板靠近所述第二子振膜的板面，所述第一电极层与所述第一子振膜之间具有间隔，所述第二电极层与所述第二子振膜之间具有间隔。