[实用新型]一种MEMS麦克风

说明书

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、设置于基底的一侧的基座和设置在基座上的电容系统，电容系统包括背板组件以及与背板组件相对且分别间隔设置在背板组件两侧的第一振膜和第二振膜，MEMS麦克风还包括具有装配空间且一侧固定连接于基座的内侧的悬臂结构，悬臂结构的未固定侧与基座的内侧形成间隔，背板组件包括子背板组件，第一振膜包括第一子振膜，第二振膜包括第二子振膜，子背板组件、第一子振膜和第二子振膜均固定连接于悬臂结构且位于悬臂结构的装配空间内的。第一子振膜和第二子振膜在基座上形成悬臂梁结构，实现增大第一振膜和第二振膜的顺性和降低张力，从而实现提升麦克风的灵敏度。

【技术领域】

本实用新型属于麦克风技术领域，尤其涉及一种MEMS麦克风。

【背景技术】

由于MEMS(Micro－Electro－Mechanical System，微机电系统)技术具有小型化、易集成、高性能、低成本等特点，使其获得业界青睐，MEMS麦克风在当前的移动电话中应用较为广泛。

常见的MEMS麦克风为电容式，即包括振膜和背板，二者构成MEMS声传感电容，且MEMS声传感电容进一步通过连接盘连接到处理芯片以将声传感信号输出给处理芯片进行信号处理。为了进一步提高MEMS麦克风的性能，现有技术提出了双振膜MEMS麦克风结构，即利用两层振膜分别与背板构成电容结构；然而由于振膜存在张力过大、顺性不足的缺点，导致麦克风的灵敏度降低。

【实用新型内容】

本实用新型的目的在于提供一种MEMS麦克风，能够解决相关技术中由于振膜存在张力过大、顺性不足的缺点，导致麦克风的灵敏度降低。

本实用新型的技术方案如下：一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、设置于所述基底的一侧的基座和设置在所述基座上的电容系统，所述电容系统包括背板组件以及与所述背板组件相对且分别间隔设置在所述背板组件两侧的第一振膜和第二振膜，所述MEMS麦克风还包括具有装配空间且一侧固定连接于所述基座的内侧的悬臂结构，所述悬臂结构的未固定侧与所述基座的内侧形成间隔，所述背板组件包括固定连接于所述悬臂结构且位于所述悬臂结构的装配空间内的子背板组件，所述第一振膜包括固定连接于所述悬臂结构且位于所述悬臂结构的装配空间内的第一子振膜，所述第二振膜包括固定连接于所述悬臂结构且位于所述悬臂结构的装配空间内的第二子振膜。

优选地，所述悬臂结构包括两端均固定连接于所述基座的内侧的横梁组件，所述横梁组件和所述基座的内侧围合形成所述装配空间，所述横梁组件的背离所述装配空间侧和所述基座的内侧具有间隔。

优选地，所述MEMS麦克风包括一所述悬臂结构，所述横梁组件包括至少两依次相连的横梁，所述依次相连的横梁的首尾两端固定连接于所述基座的内侧，各所述横梁沿着所述基座的内轮廓延伸且和所述基座的内侧形成间隔。

优选地，所述MEMS麦克风包括至少两所述悬臂结构，每一所述悬臂结构设有一所述子背板组件、一所述第一子振膜和一所述第二子振膜，各所述横梁组件环绕所述基座的中心等角度间隔设置，相邻的所述横梁组件之间形成狭缝。

优选地，所述横梁组件包括至少两依次相连的横梁，所述依次相连的横梁的首尾两端固定连接于所述基座的内侧，所述横梁组件对应的所述电容系统的一侧固定于所述基座的内侧，所述横梁组件的横梁围设于对应的所述电容系统的未与所述基座相连侧，相邻悬臂结构的横梁之间形成所述狭缝。

优选地，所述悬臂结构还包括固定于所述横梁的背离所述装配空间侧的加强筋，所述加强筋与所述横梁相匹配。

优选地，所述第一子振膜和所述第二子振膜均与所述基座的内侧固定连接，所述第一子振膜、所述第二子振膜、所述基座和对应的所述悬臂结构围合形成密闭空间。

优选地，所述MEMS麦克风还包括与所述悬臂结构相匹配且两端分别固定连接于所述第一子振膜和所述第二子振膜的至少一支撑绝缘件，所述支撑绝缘件贯穿通过所述背板组件。