[实用新型]一种真空镀膜机用移动轨道有效
申请号: | 202123258015.2 | 申请日: | 2021-12-21 |
公开(公告)号: | CN216891167U | 公开(公告)日: | 2022-07-05 |
发明(设计)人: | 卢林松 | 申请(专利权)人: | 苏州双石真空镀膜有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/56;B08B5/02 |
代理公司: | 苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙) 32405 | 代理人: | 戴丽 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 移动 轨道 | ||
1.一种真空镀膜机用移动轨道,包括固定块(1)、条形框板(2)、第一导槽(9)和固定板(6),其特征在于:所述固定块(1)外侧设置有条形框板(2),所述条形框板(2)一端设置有转槽且转槽内套设有转轴(3),所述转轴(3)一端连接有滚轮(8),所述固定块(1)内顶部和内底部均设置有第一导槽(9),所述滚轮(8)位于第一导槽(9)内,所述条形框板(2)顶端下侧和底端上侧均设置有导块(18),所述固定块(1)顶部和底部均开设有第二导槽(17),所述导块(18)位于第二导槽(17)内。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用移动轨道,其特征在于:所述固定块(1)一端开设有与第一导槽(9)和滚轮(8)贯通的凹槽(11),所述固定块(1)另一端外侧设置有多通阀(13),所述多通阀(13)的进液端连接有进气管(12),所述多通阀(13)的出液端连接有出气管(19),所述出气管(19)端部贯穿固定块(1)且通入凹槽(11)内。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机用移动轨道,其特征在于:所述进气管(12)外侧设置有增压泵(14),所述增压泵(14)的进液端和出液端均通过管道连接有第一法兰(15),所述进气管(12)端部连接有第二法兰(16),其中一组所述第一法兰(15)与第二法兰(16)之间通过螺钉进行紧固连接。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用移动轨道,其特征在于:所述转轴(3)外围设置有链轮(4),所述转轴(3)端部外围套设有轴承(5)且轴承(5)外围设置有固定板(6)。
5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机用移动轨道,其特征在于:所述固定板(6)一端靠近拐角处均贯穿开设有安装孔(7),所述固定板(6)底部焊接有滑块(10)。
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