[实用新型]一种真空镀膜机用移动轨道

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机用移动轨道，包括固定块、条形框板、第一导槽和固定板，所述固定块外侧设置有条形框板，所述条形框板一端设置有转槽且转槽内套设有转轴，所述转轴一端连接有滚轮，所述固定块内顶部和内底部均设置有第一导槽，所述滚轮位于第一导槽内，所述条形框板顶端下侧和底端上侧均设置有导块，所述固定块顶部和底部均开设有第二导槽，所述导块位于第二导槽内。该新型滚轮沿轨道移动时具备多组导向结构，在位移时的稳定性效果佳，还具备对与滚轮接触的导槽内壁进行喷气清洁的结构，导槽内壁能方便进行自清洁，适合广泛推广使用。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机部件技术领域，特别涉及一种真空镀膜机用移动轨道。

背景技术

真空镀膜机是一种在基片表面进行薄膜的设备，其中，为了方便对基片架进行位移，所以移动轨道是十分必要的。

以往的移动轨道存在以下缺点：1、滚轮沿轨道移动时只具备单一导向结构，在位移时的稳定性效果不佳；2、不具备对与滚轮接触的导槽内壁进行喷气清洁的结构，导槽内壁不能方便进行自清洁。为此，我们提出一种真空镀膜机用移动轨道。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种真空镀膜机用移动轨道，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种真空镀膜机用移动轨道，包括固定块、条形框板、第一导槽和固定板，所述固定块外侧设置有条形框板，所述条形框板一端设置有转槽且转槽内套设有转轴，所述转轴一端连接有滚轮，所述固定块内顶部和内底部均设置有第一导槽，所述滚轮位于第一导槽内，所述条形框板顶端下侧和底端上侧均设置有导块，所述固定块顶部和底部均开设有第二导槽，所述导块位于第二导槽内。

进一步地，所述固定块一端开设有与第一导槽和滚轮贯通的凹槽，所述固定块另一端外侧设置有多通阀，所述多通阀的进液端连接有进气管，所述多通阀的出液端连接有出气管，所述出气管端部贯穿固定块且通入凹槽内，外部气源经过增压泵的增压后，在经由进气管进入多通阀，最终经由出气管进入凹槽内，从而可以利用增压后的高压气体喷出，对第一导槽内进行清洁，使得本移动轨道的导槽具备自清洁功能。

进一步地，所述进气管外侧设置有增压泵，所述增压泵的进液端和出液端均通过管道连接有第一法兰，所述进气管端部连接有第二法兰，其中一组所述第一法兰与第二法兰之间通过螺钉进行紧固连接。

进一步地，所述转轴外围设置有链轮，所述转轴端部外围套设有轴承且轴承外围设置有固定板。

进一步地，所述固定板一端靠近拐角处均贯穿开设有安装孔，所述固定板底部焊接有滑块，利用安装孔与外部螺栓配合，方便将基片架固定在固定板一侧，滑块套设在外部限位轨道上，方便对固定板的转动自由度进行限定，使得固定板只能进行水平移动。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.本实用新型一种真空镀膜机用移动轨道，在条形框板顶部开设螺孔，外部驱动电机可安装在条形框板顶部，外部驱动电机的动力输出端连接外部链轮，将链条套接在外部链轮和链轮外围，从而可以通过外部驱动电机的工作带动转轴进行转动，利用安装孔与外部螺栓配合，方便将基片架固定在固定板一侧，滑块套设在外部限位轨道上，方便对固定板的转动自由度进行限定，使得固定板只能进行水平移动，使得外部驱动电机工作时，通过滚轮在第一导槽内的滚动，带动固定板进行水平移动，使得安装在固定板一侧的基片架水平移动，通过第一导槽对滚轮的导向作用，以及第二导槽对导块的导向作用，使得本轨道的滚轮在移动时具备多组导向结构，在位移时的稳定效果更好。

2.本实用新型一种真空镀膜机用移动轨道，外部气源经过增压泵的增压后，在经由进气管进入多通阀，最终经由出气管进入凹槽内，从而可以利用增压后的高压气体喷出，对第一导槽内进行清洁，使得本移动轨道的导槽具备自清洁功能。

附图说明