[实用新型]一种用于光刻机净化车间的净化装置

权利要求书

1.一种用于光刻机净化车间的净化装置，连接光刻机(7)，其特征在于，包括：

设置在恒温恒湿机房外的无油空压机(1)；

设置在恒温恒湿机房外，与所述无油空压机(1)连接的第一储气罐(2)；

设置在恒温恒湿机房外，与所述第一储气罐(2)连接，用于干燥压缩空气的冷干机(3)；

设置在恒温恒湿机房外，与所述冷干机(3)连接，用于去除压缩空气中水分的吸干机(4)；

设置在恒温恒湿机房内，与所述吸干机(4)连接，用于对压缩空气进行热交换的热交换器(5)；

设置在恒温恒湿机房内，与所述热交换器(5)连接，用于储存热交换后的压缩空气的第二储气罐(6)；以及

连通所述第二储气罐(6)和光刻机(7)的二合一管路(12)。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机净化车间的净化装置，其特征在于，所述光刻机(7)包括：

光刻机本体；

设置在所述光刻机本体上，可移动的尼龙坦克拖链履带式电缆线槽；

激光头；

用于安装所述激光头和所述二合一管路(12)的合并管路的磁力底座。

3.根据权利要求2所述的一种用于光刻机净化车间的净化装置，其特征在于，所述二合一管路(12)的合并管路设置在所述尼龙坦克拖链履带式电缆线槽上；所述二合一管路(12)设置在所述光刻机(7)内的一端安装有可调喷嘴(13)并设置所述激光头处。

4.根据权利要求1所述的一种用于光刻机净化车间的净化装置，其特征在于，所述第一储气罐(2)和所述冷干机(3)之间连通有第一过滤设备(8)。

5.根据权利要求1所述的一种用于光刻机净化车间的净化装置，其特征在于，所述吸干机(4)和所述热交换器(5)之间连通有第二过滤设备(9)。

6.根据权利要求1所述的一种用于光刻机净化车间的净化装置，其特征在于，所述二合一管路(12)的一条分支管路上安装有电磁阀(10)；另一条分支管路上安装有手动阀门(11)；所述二合一管路(12)的合并管路上安装有压缩空气减压阀(14)。