[实用新型]一种用于光刻机净化车间的净化装置

说明书

本实用新型公开了一种用于光刻机净化车间的净化装置，连接光刻机，包括：无油空压机；设置在所述无油空压机后面的第一储气罐；设置在所述第一储气罐后面，用于干燥压缩空气的冷干机；设置在所述冷干机后面，用于去除压缩空气中水分的吸干机；设置在所述吸干机后面，用于对压缩空气进行热交换的热交换器；设置在所述热交换器后面，用于储存热交换后的压缩空气的第二储气罐；连通所述第二储气罐和光刻机二合一管路。本实用新型能够有效解决净化车间内不可见微粒、极小灰尘净化的问题。

技术领域

本实用新型涉及一种用于光刻机净化车间的净化装置。

背景技术

光刻机在恒温恒湿空调的净化车间里工作。净化车间有一定的净化等级，按照温恒湿空调的运行时间和触摸屏上压差显示更换低中高过滤网，以保证光刻机的使用环境洁净度。在光刻机的使用过程中发现过光刻产品因不可见微粒影响到产品效果。因为这种现象是偶然发生，所以没有必要提高净化车间的净化等级。在没必要提高净化等级的情况下，如何有效实现净化，是本领域技术人员要解决的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷而提供一种用于光刻机净化车间的净化装置，能够有效解决净化车间内不可见微粒、极小灰尘净化的问题。

实现上述目的的技术方案是：

一种用于光刻机净化车间的净化装置，连接光刻机，包括：

设置在恒温恒湿机房外的无油空压机；

设置在恒温恒湿机房外，与所述无油空压机连接的第一储气罐；

设置在恒温恒湿机房外，与所述第一储气罐连接，用于干燥压缩空气的冷干机

设置在恒温恒湿机房外，与所述冷干机连接，用于去除压缩空气中水分的吸干机；

设置在恒温恒湿机房内，与所述吸干机连接，用于对压缩空气进行热交换的热交换器；

设置在恒温恒湿机房内，与所述热交换器连接，用于储存热交换后的压缩空气的第二储气罐；以及

连通所述第二储气罐和光刻机的二合一管路。

优选的，所述光刻机包括：

光刻机本体；

设置在所述光刻机本体上，可移动的尼龙坦克拖链履带式电缆线槽；

激光头；

用于安装所述激光头和所述二合一管路的合并管路的磁力底座。

优选的，所述二合一管路的合并管路设置在所述尼龙坦克拖链履带式电缆线槽上；所述二合一管路设置在所述光刻机内的一端安装有可调喷嘴并设置所述激光头处。

进一步的，所述第一储气罐和所述冷干机之间连通有第一过滤设备。

进一步的，所述吸干机和所述热交换器之间连通有第二过滤设备。

进一步的，所述二合一管路的一条分支管路上安装有电磁阀；另一条分支管路上安装有手动阀门；所述二合一管路的合并管路上安装有压缩空气减压阀。

本实用新型的有益效果是：本实用新型装置在实际使用过程中，使激光头处于纯净空气的氛围中，排除了极小的灰尘影响的偶发事件，达到了预期效果。本装置原理简单，结构也不复杂，起到了小投入解决疑难问题的功效。

附图说明

图1是本实用新型用于光刻机净化车间的净化装置的整体结构示意图。

附图标记：1、无油空压机，2、第一储气罐，3、冷干机，4、吸干机，5、热交换器，6、第二储气罐，7、光刻机，8、第一过滤设备，9、第二过滤设备，10、电磁阀，11、手动阀门，12、二合一管路，13、可调喷嘴，14、压缩空气减压阀，15、触摸屏。