[实用新型]一种晶圆蒸发台行星架

权利要求书

1.一种晶圆蒸发台行星架，包括上凸的圆形伞状结构的架体，架体上周向均匀设有若干容置槽，其特征在于：所述的容置槽靠近圆心的一侧分别固定设有对空隙填充且可上下滑动的封盖组件。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆蒸发台行星架，其特征在于：所述的封盖组件包括立杆，立杆底部与架体固定连接，立杆上可上下滑动套置有套环，套环外侧与盖板内侧固定连接，盖板底面外侧边缘固定设有与空隙配合的填充块。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆蒸发台行星架，其特征在于：所述的立杆整体呈圆柱形，内外两侧分别固定设有条形凸台，套环内表面分别嵌有与条形凸台滑动配合的滑道槽，条形凸台上端部与立杆顶部留有一端空间，空间的高度大于套环的高度，立杆顶部固定设有限位凸台，限位凸台与条形凸台之间的立杆上套置有弹簧。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆蒸发台行星架，其特征在于：所述的套环靠近架体圆心的一侧外表面固定设有把手，把手呈向外开口的U形结构。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆蒸发台行星架，其特征在于：所述的限位凸台呈扁平的圆柱形，内侧面嵌有螺纹盲孔，立杆顶部设有与螺纹盲孔配合的外螺纹。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆蒸发台行星架，其特征在于：所述的弹簧伸展状态下两端分别抵触限位凸台与条形凸台。