[实用新型]一种晶圆蒸发台行星架

说明书

本实用新型涉及半导体加工领域，且公开了一种晶圆蒸发台行星架，该行星架可以通过盖板对空隙进行填充，且盖板可以上下滑动取下和安装，有效解决背景技术中提出的问题。包括上凸的圆形伞状结构的架体，架体上周向均匀设有若干容置槽，所述的容置槽靠近圆心的一侧分别固定设有对空隙填充且可上下滑动的封盖组件。所述的封盖组件包括立杆，立杆底部与架体固定连接，立杆上可上下滑动套置有套环，套环外侧与盖板内侧固定连接，盖板底面外侧边缘固定设有与空隙配合的填充块。它操作简单，使用方便，适用于多种规格的晶圆。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工领域，具体为一种晶圆蒸发台行星架。

背景技术

在晶圆加工过程中，需要对晶圆进行蒸发镀膜。现有的一种蒸发台行星架，其结构包括上凸的圆形伞状结构，架体上周向均匀设有若干容置槽，容置槽相应设有盖板。上述结构的蒸发台行星架，可以对晶圆起到蒸发镀膜作用，但是晶圆由于工艺要求边沿常留有平边，而容置槽是圆形的，这就使得晶圆平边与容置槽之间形成空隙，蒸发时容易导致金属蒸发到晶圆背面和盖板上，影响良品率。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆蒸发台行星架，该行星架可以通过盖板对空隙进行填充，且盖板可以上下滑动取下和安装，有效解决背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆蒸发台行星架，包括上凸的圆形伞状结构的架体，架体上周向均匀设有若干容置槽，其特征在于：所述的容置槽靠近圆心的一侧分别固定设有对空隙填充且可上下滑动的封盖组件。

优选的，所述的封盖组件包括立杆，立杆底部与架体固定连接，立杆上可上下滑动套置有套环，套环外侧与盖板内侧固定连接，盖板底面外侧边缘固定设有与空隙配合的填充块。

优选的，所述的立杆整体呈圆柱形，内外两侧分别固定设有条形凸台，套环内表面分别嵌有与条形凸台滑动配合的滑道槽，条形凸台上端部与立杆顶部留有一端空间，空间的高度大于套环的高度，立杆顶部固定设有限位凸台，限位凸台与条形凸台之间的立杆上套置有弹簧。

优选的，所述的套环靠近架体圆心的一侧外表面固定设有把手，把手呈向外开口的U形结构。

优选的，所述的限位凸台呈扁平的圆柱形，内侧面嵌有螺纹盲孔，立杆顶部设有与螺纹盲孔配合的外螺纹。

优选的，所述的弹簧伸展状态下两端分别抵触限位凸台与条形凸台。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆蒸发台行星架，具备以下有益效果：

1.本实用新型通过容置槽靠近圆心的一侧分别固定设有对空隙填充且可上下滑动的封盖组件，封盖组件可以对晶圆平边与容置槽之间产生的空隙起到填充作用，可以有效避免金属蒸发到晶圆背面和盖板上，利于提高良品率，且盖板连同连同填充块可以上下滑动安装和取下，便于晶圆的取放。

2.本实用新型通过条形凸台上端部与立杆顶部留有一端空间，空间的高度大于套环的高度，立杆顶部固定设有限位凸台，限位凸台与条形凸台之间的立杆上套置有弹簧，使用时，套环连同盖板可以向上滑动，条形凸台与滑道槽可以对盖板进行限位，向下滑动时利于对准容置槽，当向上滑动且滑动至条形凸台上侧时，可以转向一侧，在弹簧的作用下可以对套环压紧，避免转动，此时方便工作人员对晶圆进行操作。

3.本实用新型通过套环靠近架体圆心的一侧外表面固定设有把手，把手方便工作人员上下滑动套环，进而便于盖板的安装与打开。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图(封盖组件仅示出左右两组)；

图2为图1中架体的俯视结构示意图(封盖组件未示出)；

图3为图2中右侧封盖组件的放大结构示意图；

图4为图3中套环与立杆配合的俯视结构示意图；