[实用新型]一种电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚

权利要求书

1.一种电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚，包括外层坩埚(1)，其特征在于：所述外层坩埚(1)的内部设置有内层坩埚(2)，所述内层坩埚(2)的内部设置有隔板(3)，所述外层坩埚(1)和内层坩埚(2)之间设置有耐火填充层(11)，所述外层坩埚(1)的顶部四角均安装有螺杆(8)，所述内层坩埚(2)的顶部四角均贯穿有通孔(7)，且所述螺杆(8)的一端延伸至通孔(7)的内部并套接有螺母(9)，所述外层坩埚(1)的外表面开设有凹槽(4)，所述外层坩埚(1)的底部设置有支撑凸起部(6)，所述内层坩埚(2)和隔板(3)内壁分别设置有弧形凸起部(12)和不粘层(5)。

2.根据权利要求1所述的一种电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚，其特征在于：耐火填充层(11)包括有耐火棉层(1101)，所述耐火棉层(1101)的底部设置有岩棉层(1102)，所述岩棉层(1102)的底部设置有玻璃纤维层(1103)。

3.根据权利要求1所述的一种电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚，其特征在于：所述不粘层(5)为石墨材料制作而成，所述不粘层(5)的厚度为5～20mm。

4.根据权利要求1所述的一种电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚，其特征在于：所述螺母(9)设置有四组，且四组所述螺母(9)的两侧均设置有旋转片(10)。

5.根据权利要求1所述的一种电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚，其特征在于：所述隔板(3)设置有两组，且两组所述隔板(3)呈十字交叉分布，隔板(3)与内层坩埚(2)拆卸设置。

6.根据权利要求1所述的一种电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚，其特征在于：所述支撑凸起部(6)设置有多组，且多组所述支撑凸起部(6)为从下至上横切面逐渐变小的结构。