[实用新型]一种芯片框架的提升机构有效
申请号: | 202123313924.1 | 申请日: | 2021-12-27 |
公开(公告)号: | CN216488013U | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 黎志;陈万良;刁庆伟;黄巧 | 申请(专利权)人: | 成都先进功率半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人: | 王波 |
地址: | 611731 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 框架 提升 机构 | ||
1.一种芯片框架的提升机构,其特征在于:包括提升板(3)、驱动装置(1)和传动机构(2),所述提升板(3)用于承载框架盒中的芯片框架,所述提升板(3)固定在所述传动机构(2)上,且所述驱动装置(1)能够通过所述驱动装置(1)使所述提升板(3)在竖直方向上移动;
所述提升板(3)具有多个间隔设置的支撑齿,且所有所述支撑齿能够沿所述传动机构(2)的传送方向贯穿框架盒底部的框架盒齿板。
2.根据权利要求1所述的芯片框架的提升机构,其特征在于:还包括底板(4)、隔离板(5)和支撑顶板(6),所述底板(4)的板面与所述隔离板(5)的板面平行设置,所述隔离板(5)的上端通过所述支撑顶板(6)与所述底板(4)的上端固定相连;
所述驱动装置(1)安装在所述底板(4)的下端,且所述传动机构(2)布设在所述隔离板(5)与所述底板(4)之间;
所述提升板(3)上开设有通槽,所述隔离板(5)的下端贯穿所述通槽,且所述隔离板(5)能够在所述通槽中沿所述传动机构(2)的传送方向移动。
3.根据权利要求2所述的芯片框架的提升机构,其特征在于:所述驱动装置(1)为驱动电机,所述传动机构(2)为包括丝杠(22)和与所述丝杠(22)配合的螺母(21),所述螺母(21)固定在所述提升板(3)上,所述丝杠(22)的一端与所述驱动装置(1)的输出端相连、另一端伸入所述支撑顶板(6)中。
4.根据权利要求3所述的芯片框架的提升机构,其特征在于:所述底板(4)的下端固设有下支撑板(10),所述下支撑板(10)位于所述驱动装置(1)和所述支撑顶板(6)之间;所述下支撑板(10)上设置有凹槽和通孔,所述隔离板(5)的下端贯穿所述提升板(3)后置于所述凹槽内,所述丝杠(22)贯穿所述通孔后与所述驱动装置(1)的输出端相连。
5.根据权利要求4所述的芯片框架的提升机构,其特征在于:所述支撑顶板(6)与所述下支撑板(10)之间设置有导向机构(8),所述导向机构(8)包括导向杆(82)和导向滑块(81),所述导向滑块(81)固设在所述提升板(3)上,所述导向杆(82)的一端与所述下支撑板(10)相连、另一端与所述支撑顶板(6)相连。
6.根据权利要求2-5中任一所述的芯片框架的提升机构,其特征在于:所述底板(4)上还设置有传感器(9),所述传感器(9)用于检测所述提升板(3)在竖直方向上的位置。
7.根据权利要求1-5中任一所述的芯片框架的提升机构,其特征在于:所述提升板(3)的板面水平设置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造