[实用新型]梳状电容式麦克风

权利要求书

1.一种梳状电容式麦克风，其特征在于，所述梳状电容式麦克风包括：

基板，开设有贯穿该基板的空腔，所述空腔的上部设有台阶；

若干固定电极，等距地设于所述台阶上；及

振膜，收容于所述台阶中，所述振膜包括振动部、与所述振动部连接的连接部和凸设于所述振动部的周缘的若干可动电极，所述连接部远离振动部的一端与基板连接，

其中，所述若干固定电极呈梳状排列并直接蚀刻于基板上，所述若干可动电极呈梳状排列，所述固定电极在空间上与可动电极分离，且其中一固定电极对应其中一可动电极，所述振动部沿空腔的轴线方向的投影覆盖空腔。

2.如权利要求1所述的梳状电容式麦克风，其特征在于，每一固定电极均包括远离所述台阶的第一顶面和靠近所述台阶的第一底面，所述固定电极的第一厚度为第一顶面和第一底面之间的距离；

每一可动电极均包括远离所述台阶的第二顶面和靠近所述台阶的第二底面，所述可动电极的第二厚度为第二顶面和第二底面之间的距离。

3.如权利要求2所述的梳状电容式麦克风，其特征在于，所述基板设有若干用于为固定电极通电的固定电极引出端子，且所述振膜设有若干用于为可动电极通电的可动电极引出端子。

4.如权利要求3所述的梳状电容式麦克风，其特征在于，所述连接部包括等分所述振膜的若干连接臂，每一连接臂均包括与振膜固定连接的第一端和凸出于振膜的外周缘的第二端。

5.如权利要求4所述的梳状电容式麦克风，其特征在于，所述若干连接臂为四个连接臂。

6.如权利要求4所述的梳状电容式麦克风，其特征在于，每一用于给所述可动电极通电的可动电极引出端子设于一连接臂上。

7.如权利要求4所述的梳状电容式麦克风，其特征在于，每一连接臂均为机械弹簧。

8.如权利要求4所述的梳状电容式麦克风，其特征在于，每一连接臂均为矩形臂、曲臂、或三角形臂。

9.如权利要求1所述的梳状电容式麦克风，其特征在于，所述振动部呈中心对称形状。

10.如权利要求9所述的梳状电容式麦克风，其特征在于，所述中心对称形状为圆形或正方形。