[实用新型]梳状电容式麦克风

说明书

本实用新型提供一种梳状电容式麦克风包括基板，固定电极及振膜。所述振膜包括振动部、与所述振动部连接的连接部和凸设于所述振动部的周缘的若干可动电极。所述若干固定电极呈梳状排列并直接蚀刻于基板上，所述若干可动电极呈梳状排列，所述固定电极在空间上与可动电极分离，且其中一固定电极对应其中一可动电极，所述振动部沿空腔的轴线方向的投影覆盖空腔。具有上述结构的所述梳状电容式麦克风可提供相对较大的位移，降低声学噪声，并具有较高的灵敏度，进而获得性能更高的声换能器。

技术领域

本实用新型涉及一种电容式麦克风，尤其涉及一种梳状电容式麦克风。

背景技术

随着无线通信的发展，越来越多的手机在世界各地使用。手机不仅需要有基本的通话功能，还需要有高质量的通话效果。尤其是随着移动多媒体技术的发展，手机的通话质量变得越来越重要。作为手机的语音采集设备，手机麦克风的设计直接影响着通话质量。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型的目的在于提供一种通话质量好的梳状电容式麦克风。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了梳状电容式麦克风包括基板，开设有贯穿该基板的空腔，所述空腔的上部设有台阶；若干固定电极，等距地设于所述台阶上；及振膜，收容于所述台阶中，所述振膜包括振动部、与所述振动部连接的连接部和凸设于所述振动部的周缘的若干可动电极，所述连接部远离振动部的一端与基板连接。所述若干固定电极呈梳状排列并直接蚀刻于基板上，所述若干可动电极呈梳状排列，所述固定电极在空间上与可动电极分离，且其中一固定电极对应其中一可动电极，所述振动部沿空腔的轴线方向的投影覆盖空腔。

优选地，每一固定电极均包括远离所述台阶的第一顶面和靠近所述台阶的第一底面，所述固定电极的第一厚度为第一顶面和第一底面之间的距离。每一可动电极均包括远离所述台阶的第二顶面和靠近所述台阶的第二底面，所述可动电极的第二厚度为第二顶面和第二底面之间的距离。

优选地，所述基板设有若干用于为固定电极通电的固定电极引出端子，且所述振膜设有若干用于为可动电极通电的可动电极引出端子。

优选地，所述连接部包括等分所述振膜的若干连接臂，每一连接臂均包括与振膜固定连接的第一端和凸出于振膜的外周缘的第二端。

优选地，所述若干连接臂为四个连接臂。

优选地，每一用于给所述可动电极通电的可动电极引出端子设于一连接臂上。

优选地，每一连接臂均为机械弹簧。

优选地，每一连接臂均为矩形臂、曲臂、或三角形臂。

优选地，所述振动部呈中心对称形状。

优选地，所述中心对称形状为圆形或正方形。

本实用新型中，若干固定电极呈梳状排列并直接刻蚀于基板上，且若干活动电极呈梳状排列。如此设置，可根据需要调整固定电极和活动电极之间的间隙和固定电极和活动电极的高度来相对容易地提高或降低MEMS换能器的灵敏度；由于摒弃了背板，噪音有所降低；由于没有背板，与传统麦克风相比，本实用新型的过载压力点(声学过载点)得到改善。而且，本实用新型的线性度也得到改善。即本实用新型的梳状电容式麦克风的灵敏度、响度、和抗噪音性都得到了提高。因此，与相关技术中的梳状电容式麦克风相比，这种结构的可得到性能更高的声换能器。

附图说明

图1是相关技术中的梳状电容式麦克风的剖视图；

图2是本实用新型的梳状电容式麦克风的部分结构的立体图；

图3是图2所示A部分的放大图；

图4是本实用新型的梳状电容式麦克风沿俯视方向的剖视图；

图5是本实用新型的梳状电容式麦克风的剖视图；