[实用新型]晶圆储存放置货架

权利要求书

1.晶圆储存放置货架，包括储存货架(1)，其特征在于，所述储存货架(1)的内腔焊接有多片水平横置的分隔板(101)，储存货架(1)的内腔由多片分隔板(101)分隔为一级储存室(2)、二级储存室(201)和三级储存室(202)，一级储存室(2)的高度大于二级储存室(201)，二级储存室(201)的高度大于三级储存室(202)，所述一级储存室(2)中焊接有多片垂直设置的固定挡板(3)，一级储存室(2)由多片固定挡板(3)分隔为若干个标准储存分格，所述二级储存室(201)、三级储存室(202)中均设有多片呈垂直设置的可调挡板(4)，二级储存室(201)、三级储存室(202)均由多片可调挡板(4)分隔为若干个可调式储存分格。

2.根据权利要求1所述的晶圆储存放置货架，其特征在于，所述分隔板(101)的外边一体成型有滑轴(5)，可调挡板(4)的前侧底部焊接有滑套(401)，且滑套(401)与相对应的滑轴(5)配合滑接，所述二级储存室(201)、三级储存室(202)的内部均设有一对水平横向的滑杆(501)，且可调挡板(4)的内端与相对应的一对滑杆(501)配合滑接。

3.根据权利要求2所述的晶圆储存放置货架，其特征在于，所述滑套(401)的内部粘合固定有阻尼内套(4011)，且阻尼内套(4011)与滑轴(5)的外壁紧密贴合。

4.根据权利要求3所述的晶圆储存放置货架，其特征在于，沿所述滑套(401)的外部螺接有一根限位螺钉(4012)，且限位螺钉(4012)的内端与阻尼内套(4011)相抵触。

5.根据权利要求1所述的晶圆储存放置货架，其特征在于，所述二级储存室(201)、三级储存室(202)被多片可调挡板(4)分隔构成的可调式储存分格中，可调式储存分格的两侧壁均粘合固定有均匀排布设置的弹性橡胶凸块(402)。