[实用新型]晶圆储存放置货架

说明书

本实用新型提出提出晶圆储存放置货架，包括储存货架，储存货架内腔由分隔板分隔为一级储存室、二级储存室和三级储存室，一级储存室由多片固定挡板分隔为若干个标准储存分格，二级储存室、三级储存室均由多片可调挡板分隔为若干个可调式储存分格。本实用新型中，储存货架的内腔由多片分隔板分隔为一级储存室、二级储存室和三级储存室，一级储存室由多片固定挡板分隔为若干个标准储存分格，标准储存分格用于放置常用的标准规格晶圆，二级储存室、三级储存室中均设有多片呈垂直设置的可调挡板，二级储存室、三级储存室均由多片可调挡板分隔为若干个可调式储存分格，可调式储存分格可进行改变调节宽度尺寸，用于与制成的晶圆规格配适。

技术领域

本实用新型涉及储存设备技术领域，尤其涉及晶圆储存放置货架。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的IC产品。生产制成的晶圆通常需要放置于储存柜中进行储存，通常的储存柜由多个储存格体组成，传统储存柜的储存格的尺寸通常为固定规格，而由于生产制成的圆晶尺寸规格差异，固定规格的储存格无法满足存放的配用性。

发明内容

为了解决上述问题，本实用新型提出晶圆储存放置货架，以更加确切地解决上述所述问题。

本实用新型通过以下技术方案实现的：

本实用新型提出晶圆储存放置货架，包括储存货架，所述储存货架的内腔焊接有多片水平横置的分隔板，储存货架的内腔由多片分隔板分隔为一级储存室、二级储存室和三级储存室，一级储存室的高度大于二级储存室，二级储存室的高度大于三级储存室，所述一级储存室中焊接有多片垂直设置的固定挡板，一级储存室由多片固定挡板分隔为若干个标准储存分格，所述二级储存室、三级储存室中均设有多片呈垂直设置的可调挡板，二级储存室、三级储存室均由多片可调挡板分隔为若干个可调式储存分格。

进一步的，所述分隔板的外边一体成型有滑轴，可调挡板的前侧底部焊接有滑套，且滑套与相对应的滑轴配合滑接，所述二级储存室、三级储存室的内部均设有一对水平横向的滑杆，且可调挡板的内端与相对应的一对滑杆配合滑接。

进一步的，所述滑套的内部粘合固定有阻尼内套，且阻尼内套与滑轴的外壁紧密贴合。

进一步的，沿所述滑套的外部螺接有一根限位螺钉，且限位螺钉的内端与阻尼内套相抵触。

进一步的，所述二级储存室、三级储存室被多片可调挡板分隔构成的可调式储存分格中，可调式储存分格的两侧壁均粘合固定有均匀排布设置的弹性橡胶凸块。

本实用新型的有益效果：

1、本实用新型中，储存货架的内腔由多片分隔板分隔为一级储存室、二级储存室和三级储存室，一级储存室由多片固定挡板分隔为若干个标准储存分格，标准储存分格用于放置常用的标准规格晶圆，二级储存室、三级储存室中均设有多片呈垂直设置的可调挡板，二级储存室、三级储存室均由多片可调挡板分隔为若干个可调式储存分格，可调式储存分格可进行改变调节宽度尺寸，用于与制成的晶圆规格配适；

2、本实用新型在可调式储存分格的两侧壁均粘合固定有均匀排布设置的弹性橡胶凸块，在调节调式储存分格与圆晶的尺寸配适后，可调式储存分格的两侧壁上所设的弹性橡胶凸块与圆晶两侧相抵触，起到对圆晶的稳固效果，且弹性橡胶凸块在对圆晶固定的同时避免对其外壁发生滑擦损伤。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型结构的正视图；

图3为本实用新型结构的侧视图；

图4为图3中A处的放大图。