[实用新型]一种门阀装置

权利要求书

1.一种门阀装置，所述门阀装置设置在TM传送腔室和干刻腔室之间，所述干刻腔室上设置有贯穿孔，所述门阀装置覆盖所述贯穿孔的孔口并且和所述孔口附近的腔壁连接，其特征在于：所述门阀装置包括密封板、密封件、外密封圈和内密封圈，所述密封板设置在所述干刻腔室的外侧，所述外密封圈设置在密封板和所述腔壁之间，所述内密封圈设置在所述外密封圈内侧，所述密封件包括一环形块，所述环形块设置在所述贯穿孔内并且所述环形块的外侧壁和所述贯穿孔的内侧壁紧密贴合，所述内密封圈设置在所述密封板和所述环形块之间。

2.根据权利要求1所述的门阀装置，其特征在于：所述密封件还包括一盖板，所述盖板设置在所述干刻腔室的内侧，所述盖板和所述环形块远离所述密封板的端面连接，所述盖板的宽度大于所述贯穿孔的孔径，所述盖板和所述腔壁之间通过连接件可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的门阀装置，其特征在于：所述连接件为螺丝。

4.根据权利要求2所述的门阀装置，其特征在于：所述密封板靠近所述腔壁的端面的边缘处设置有第一环形凹槽，所述腔壁上设置有与所述第一环形凹槽对应的第三环形凹槽；所述第一环形凹槽内侧设置有第二环形凹槽，所述环形块远离所述盖板的端面上设置有与所述第二环形凹槽对应的第四环形凹槽，所述外密封圈设置在所述第一环形凹槽和所述第三环形凹槽之间，所述内密封圈设置在所述第二环形凹槽和所述第四环形凹槽之间。