[实用新型]一种门阀装置

说明书

本实用新型涉及一种门阀装置，门阀装置设置在TM传送腔室和干刻腔室之间，干刻腔室上设置有贯穿孔，门阀装置覆盖贯穿孔的孔口并且和孔口附近的腔壁连接，门阀装置包括密封板、密封件、外密封圈和内密封圈，密封板设置在干刻腔室的外侧，外密封圈设置在密封板和腔壁之间，内密封圈设置在外密封圈内侧，密封件包括一环形块，环形块设置在贯穿孔内并且环形块的外侧壁和贯穿孔的内侧壁紧密贴合，内密封圈设置在密封板和环形块之间。

技术领域

本申请涉及显示面板制造领域，具体而言，涉及一种门阀装置。

背景技术

显示面板(例如TFT-LCD、OLED、AMOLED等)在制备过程中需要进行干法刻蚀，干法刻蚀的典型步骤包括：将表面有图形化光刻胶层的玻璃基板由TM传送腔室传送至等离子体刻蚀设备的干刻腔室内，干刻腔室通工艺气体并加载射频功率后，干刻腔室内产生等离子体，对干刻腔室内的玻璃基板进行刻蚀加工。

在显示面板的制备过程中出于良品率的需求，因此对杂质颗粒(particle)的管控尤为重要。干法刻蚀的过程中在干刻腔室内会因为反应而产生大量生成物，部分生成物以气态的方式被泵抽走排出，部分生成物会累积在工艺腔室内并凝结成固态形成杂质颗粒(particle)，在随后的生产中掉落到基板上造成刻蚀残留，最终产品表现为点线缺陷等不良。

显示面板在进行干法刻蚀时基板的传输路径为由TM传送腔室移动至干刻腔室，在TM传送腔室和干刻腔室之间会设立门阀装置(如图1所示)，保证干刻腔室内的真空度和阻挡干刻腔室内的生成物污染到TM传送腔室。门阀装置和干刻腔室的腔壁间必然使用橡胶材质密封圈来进行密封，由于密封圈的存在使得与门阀装置和腔壁之间存在缝隙，干刻腔室内的生成物会在缝隙中累计(如图2所示)并且累计的数量会随着生产的基板的数量增加而增加。每次干刻腔室完成单片基板的干法刻蚀后进行交换片，门阀装置会进行一次开关，开关的机械动作会对门阀装置带来振动，振动会把原来粘附于缝隙处的杂质颗粒(particle)在交换片的同时掉落到基板上形成刻蚀残留，所以避免形成刻蚀残留，需要定期对门阀装置进行清洁保养。但由于门阀装置设置在TM传送腔室，因此对于干刻腔室清洁的时候无法对门阀装置进行同步的清洁和保养，需要打开TM传送腔室才能对门阀装置进行同步清洁，这大大提高了对门阀装置的保养的难度。

公开于本实用新型背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型的一般背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

针对现有技术中存在的技术问题，本实用新型提供一种门阀装置，该门阀装置是在现有的门阀装置的结构的基础上进行改进。

本实用新型提出了一种门阀装置，用于隔离TM传送腔室和干刻腔室，并且对干刻腔室进行密封。干刻腔室上设置有贯穿孔用于让基板进入，门阀装置覆盖所述贯穿孔的孔口并且和孔口附近的腔壁连接。

根据本实用新型的门阀装置，所述门阀装置包括密封板、密封件、外密封圈和内密封圈，所述密封板设置在所述干刻腔室的外侧，所述外密封圈设置在密封板和腔壁之间，所述内密封圈设置在所述外密封圈内侧，所述密封件包括一环形块，所述环形块设置在所述贯穿孔内并且所述环形块的外侧壁和所述贯穿孔的内侧壁紧密贴合，所述内密封圈设置在所述密封板和环形块之间。

所述密封件还包括一盖板，所述盖板设置在所述干刻腔室的内侧，所述盖板和所述环形块远离所述密封板的端面连接，所述盖板的宽度大于所述贯穿孔的孔径。所述盖板和所述腔壁之间通过连接件可拆卸连接。优选的，连接件为螺丝。

在所述密封板靠近所述腔壁的端面的边缘处设置有第一环形凹槽，所述腔壁上设置有与所述第一环形凹槽对应的第三环形凹槽；在所述第一环形凹槽内侧设置有第二环形凹槽，所述环形块远离所述盖板的端面上设置有与第二环形凹槽对应的第四环形凹槽。所述外密封圈设置在所述第一环形凹槽和所述第三环形凹槽之间，所述内密封圈设置在所述第二环形凹槽和所述第四环形凹槽之间。