[实用新型]一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装

权利要求书

1.一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，包括安装台(1)，其特征在于：所述安装台(1)上端的左侧活动安装有第一固定座(2)，所述第一固定座(2)上端的后侧固定设置有凹槽(3)，所述凹槽(3)的内部活动安装有丝杠(4)，所述丝杠(4)的外端螺纹安装有丝母(5)，所述丝母(5)的上端固定安装有第一夹具(6)，所述第一固定座(2)上端的前侧固定安装有第二夹具(7)，所述第二夹具(7)的后端固定安装有第一弹簧(8)，所述第一夹具(6)与第二夹具(7)通过第一弹簧(8)活动连接，所述安装台(1)上端的右侧活动安装有第二固定座(9)，所述第一固定座(2)右端的前后两侧固定安装有滑杆(10)，所述滑杆(10)的左端固定安装有安装板(11)，所述安装板(11)的左端固定安装有电动推杆(12)，所述电动推杆(12)的右端与第一固定座(2)固定连接，所述第二固定座(9)的右端固定安装有微调机构(13)。

2.根据权利要求1所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，其特征在于：所述微调机构(13)的右端固定安装有支撑柱(14)，所述支撑柱(14)左端的前后两侧固定安装有伸缩杆(15)。

3.根据权利要求1所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，其特征在于：所述第二固定座(9)的右端固定安装有支撑板(16)，所述支撑板(16)的上端活动安装有凸轮(17)。

4.根据权利要求3所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，其特征在于：所述凸轮(17)的下端固定安装有手柄(18)，所述手柄(18)贯穿支撑板(16)并延伸至支撑板(16)的下端。

5.根据权利要求1所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，其特征在于：所述第一固定座(2)的前端固定安装有第一连接柱(19)，所述第二固定座(9)的前端固定安装有第二连接柱(20)。

6.根据权利要求5所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，其特征在于：所述第一连接柱(19)的前端固定安装有第二弹簧(21)，所述第一连接柱(19)与第二连接柱(20)通过第二弹簧(21)活动连接。

7.根据权利要求1所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，其特征在于：所述滑杆(10)贯穿第一固定座(2)并延伸至第一固定座(2)的左侧，所述滑杆(10)的右端延伸至第二固定座(9)的内部。

8.根据权利要求1所述的一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，其特征在于：所述第一固定座(2)与第二固定座(9)为同种结构，所述丝杠(4)的后端固定安装有转动柄(22)。