[实用新型]一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装

说明书

本实用新型公开了一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，包括安装台，所述安装台上端的左侧活动安装有第一固定座，所述第一固定座上端的后侧固定设置有凹槽，所述凹槽的内部活动安装有丝杠，所述丝杠的外端螺纹安装有丝母，所述丝母的上端固定安装有第一夹具，所述第一固定座上端的前侧固定安装有第二夹具，所述第二夹具的后端固定安装有第一弹簧，所述第一夹具与第二夹具通过第一弹簧活动连接。该贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，通过安装电动推杆及丝杠丝母，既可以对不同长度的靶材进行夹紧固定，也可以对不同宽度的靶材进行夹紧固定，并且通过安装微调机构，可以对第二固定座与第一固定座之间的间距进行微调，以让夹具与靶材之间更加紧密。

技术领域

本实用新型涉及贵金属靶材技术领域，具体为一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装。

背景技术

采用精炼、熔化锻造、压延加工或粉未冶金工艺制造的半导体器件、记录媒体显示器件等的配线和薄膜的贵金属及其合金的溅射靶材。

一般的贵金属溅射靶材在加工时由于质量太大，通常直接放在操作台上，这样会使靶材因为震动而发生偏移，在加工途中会由于偏移而产生崩角，损坏靶材。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，以解决上述背景技术中提出一般的贵金属溅射靶材在加工时由于质量太大，通常直接放在操作台上，这样会使靶材因为震动而发生偏移，在加工途中会由于偏移而产生崩角，损坏靶材的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，包括安装台，所述安装台上端的左侧活动安装有第一固定座，所述第一固定座上端的后侧固定设置有凹槽，所述凹槽的内部活动安装有丝杠，所述丝杠的外端螺纹安装有丝母，所述丝母的上端固定安装有第一夹具，所述第一固定座上端的前侧固定安装有第二夹具，所述第二夹具的后端固定安装有第一弹簧，所述第一夹具与第二夹具通过第一弹簧活动连接，所述安装台上端的右侧活动安装有第二固定座，所述第一固定座右端的前后两侧固定安装有滑杆，所述滑杆的左端固定安装有安装板，所述安装板的左端固定安装有电动推杆，所述电动推杆的右端与第一固定座固定连接，所述第二固定座的右端固定安装有微调机构。

优选的，所述微调机构的右端固定安装有支撑柱，所述支撑柱左端的前后两侧固定安装有伸缩杆，通过安装电动推杆，可以使电动推杆推动第一固定座沿着滑杆左右移动，由此调整两个固定座之间的间距，以对不同长度的靶材进行夹紧固定。

优选的，所述第二固定座的右端固定安装有支撑板，所述支撑板的上端活动安装有凸轮，通过安装丝杠和丝母，转动转动柄，带动丝杠在凹槽内部转动，由于丝母与丝杠螺纹连接，因而丝杠的转动会带动丝母沿着丝杠前后移动，由此带动第一夹具沿着丝杠前后移动，最终调整第一夹具与第二夹具之间的间距，以对不同宽度的靶材进行夹紧固定。

优选的，所述凸轮的下端固定安装有手柄，所述手柄贯穿支撑板并延伸至支撑板的下端，由于第二夹具为固定安装，因此其位置相对于第一固定座和第二固定座是不变的，第一夹具前后移动，并且两者之间通过第一弹簧连接，因而不容易使夹具产生偏移，使装置更加稳定。

优选的，所述第一固定座的前端固定安装有第一连接柱，所述第二固定座的前端固定安装有第二连接柱，通过安装微调机构，可以对第二固定座与第一固定座之间的间距进行微调，以让夹具与靶材之间更加紧密。

优选的，所述第一连接柱的前端固定安装有第二弹簧，所述第一连接柱与第二连接柱通过第二弹簧活动连接，通过安装凸轮，转动手柄，可以带动凸轮在支撑板的上端转动，使得凸轮的两个突出端分别与第二固定座以及支撑柱相接触。

优选的，所述滑杆贯穿第一固定座并延伸至第一固定座的左侧，所述滑杆的右端延伸至第二固定座的内部，由于支撑柱与第二固定座在一般情况下其间距是小于凸轮两突出端的间距的，因而此时凸轮会带动伸缩杆向左运动，并带动第二固定座微微的向左运动。