[实用新型]一种镀锅用晶圆固定组件有效
| 申请号： | 202123367775.7 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN216445455U | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 李寒 | 申请（专利权）人： | 成都海威华芯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 李晓 |
| 地址： | 610299 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀锅用晶圆 固定 组件 | ||
1.一种镀锅用晶圆固定组件，其特征在于，包括沿晶圆放置口上边缘设置的弧形卡条(1)，所述弧形卡条(1)至少有两条且围绕晶圆放置口的轴心旋转对称设置，所述弧形卡条(1)上沿其延伸方向依次设有两条竖直穿过弧形卡条(1)与镀锅连接的定位卡销(4)，所述弧形卡条(1)上还设有手柄(2)和供定位卡销(4)穿过的引导弧形卡条(1)向晶圆放置口轴心平移的导向镂空槽(3)。
2.根据权利要求1所述的一种镀锅用晶圆固定组件，其特征在于，所述导向镂空槽(3)包括沿晶圆放置口径向依次设置的内弧槽(31)和外弧槽(32)，所述内弧槽(31)和外弧槽(32)皆沿弧形卡条(1)的延伸方向设置，所述内弧槽(31)和外弧槽(32)的同一端还设有用于将两者连通的连接槽(33)。
3.根据权利要求2所述的一种镀锅用晶圆固定组件，其特征在于，所述定位卡销(4)包括从上往下同轴依次设置的防脱帽(43)、卡销杆(42)以及固定螺杆(41)。
4.根据权利要求3所述的一种镀锅用晶圆固定组件，其特征在于，所述内弧槽(31)、外弧槽(32)以及连接槽(33)的槽宽皆大于卡销杆(42)和固定螺杆(41)的外径。
5.根据权利要求3或4所述的一种镀锅用晶圆固定组件，其特征在于，所述卡销杆(42)为方杆，所述防脱帽(43)为圆帽。
6.根据权利要求1所述的一种镀锅用晶圆固定组件，其特征在于，所述手柄(2)竖直设置在两条定位卡销(4)之间的弧形卡条(1)上。
7.根据权利要求1或6所述的一种镀锅用晶圆固定组件，其特征在于，所述手柄(2)包括从上往下同轴依次设置的握持部(22)、柄杆(21)以及安装螺杆(23)，所述弧形卡条(1)上设有用于固定安装手柄(2)的螺孔(11)。
8.根据权利要求7所述的一种镀锅用晶圆固定组件，其特征在于，所述握持部(22)为球形。
9.根据权利要求1所述的一种镀锅用晶圆固定组件，其特征在于，所述弧形卡条(1)的长度为晶圆放置口周长的1/4，所述弧形卡条(1)的厚度为1mm-2mm。
10.根据权利要求1所述的一种镀锅用晶圆固定组件，其特征在于，所述弧形卡条(1)为光滑的不锈钢弧形卡条。
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