[实用新型]一种晶圆生产用水平移动装置

权利要求书

1.一种晶圆生产用水平移动装置，其特征在于：包括直线电机、两个高精度滑块、两个固定支座、机械手安装座、横移固定板、滑台和高精度导轨，所述两个固定支座对称设置在横移固定板两端的下方，横移固定板竖直设置，所述横移固定板与固定支座垂直固定连接，所述横移固定板与固定支座通过高度调整机构连接，所述高度调整机构包括螺母、螺杆和内螺纹管，所述内螺纹管竖直穿设在固定支座上，所述螺母固定安装在横移固定板上，螺杆的两端分别与内螺纹管和螺母螺纹连接，所述高精度导轨沿横移固定板长度方向设置，高精度导轨与横移固定板固定连接，所述两个高精度滑块均滑动设置在高精度导轨上，所述直线电机与两个高精度滑块连接从而驱动两个高精度滑块沿高精度导轨移动，所述滑台一个侧壁的两端分别与两个高精度滑块固定连接，滑台另一个侧壁与机械手安装座固定连接。

2.如权利要求1所述的一种晶圆生产用水平移动装置，其特征在于：所述滑台呈矩形。

3.如权利要求1所述的一种晶圆生产用水平移动装置，其特征在于：所述机械手安装座包括矩形底板和两个对称设置在矩形底板两端的直角梯形板，直角梯形板的底部与矩形底板垂直固定连接，直角梯形板与滑台固定连接。