[实用新型]一种石英晶片热应力处理设备有效

专利信息
申请号: 202123378267.9 申请日: 2021-12-29
公开(公告)号: CN216585320U 公开(公告)日: 2022-05-24
发明(设计)人: 罗吉如 申请(专利权)人: 深圳市晶迅捷科技有限公司
主分类号: C30B33/02 分类号: C30B33/02;C30B29/18
代理公司: 青海中赢知识产权代理事务所(普通合伙) 63104 代理人: 莫文新
地址: 518000 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英 晶片 应力 处理 设备
【权利要求书】:

1.一种石英晶片热应力处理设备,包括退火炉(1),所述退火炉(1)的前表面设置有密封门(2),所述退火炉(1)的底面固定连接有支撑架(3),所述支撑架(3)的底面四角均固定连接有支撑腿(4),其特征在于:所述退火炉(1)的顶面设置有降温组件,所述退火炉(1)的顶面设置有吊装组件,所述退火炉(1)的内部底面固定连接有限位条(13),所述限位条(13)的上方设置有放置板(14),所述放置板(14)的顶面固定连接有放置台(16),所述放置板(14)的前表面固定连接有拉环(15),所述放置板(14)的顶面设置有夹持组件。

2.根据权利要求1所述的一种石英晶片热应力处理设备,其特征在于:所述降温组件包括吹风机(7),所述吹风机(7)固定连接在退火炉(1)的顶面中部,所述吹风机(7)的两侧出风口均固定连接有第一风管(8),所述第一风管(8)的顶端固定连接有第二风管(9),所述第二风管(9)的下方固定连接有若干个吹风管(10),若干个所述吹风管(10)的一端延伸至退火炉(1)的内部,所述吹风管(10)为L状设置。

3.根据权利要求1所述的一种石英晶片热应力处理设备,其特征在于:所述夹持组件包括固定连接板(19),所述固定连接板(19)的数量为两个,两个所述固定连接板(19)分别固定连接在放置板(14)的顶面两端,所述固定连接板(19)的一侧表面固定连接有多个弹簧(20),多个所述弹簧(20)的一端固定连接有抵板(21),两个所述固定连接板(19)均为相向设置。

4.根据权利要求1所述的一种石英晶片热应力处理设备,其特征在于:所述放置板(14)的底面开设有两个限位槽(17),两个所述限位槽(17)的开设位置与限位条(13)的位置对应,且限位槽(17)的开设宽度与限位条(13)的宽度相等,所述放置板(14)通过限位槽(17)与限位条(13)活动卡接,所述放置板(14)的底面中部固定连接有移动轮(18)。

5.根据权利要求1所述的一种石英晶片热应力处理设备,其特征在于:所述支撑腿(4)的底面均固定连接有支撑脚架(5),所述支撑脚架(5)的底面固定连接有垫片(6),所述垫片(6)为橡胶垫。

6.根据权利要求1所述的一种石英晶片热应力处理设备,其特征在于:所述吊装组件包括固定连接块(11),所述固定连接块(11)的一侧表面与退火炉(1)的顶面固定连接,所述固定连接块(11)的另一侧表面固定连接有吊环(12)。

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