[实用新型]一种溅射镀膜机

权利要求书

1.一种溅射镀膜机，其特征在于，包括：

镀膜腔体；

靶材机台；所述靶材机台设置于镀膜腔体下部；

溅射基板；所述溅射基板设置于所述镀膜腔体上部，与所述靶材机台相对；

第一隔板；所述第一隔板水平设置；

第二隔板；所述第二隔板水平设置；

所述第一隔板和所述第二隔板共同形成所述靶材机台至所述溅射基板的曲折通道。

2.根据权利要求1所述的溅射镀膜机，其特征在于，

所述第一隔板位于所述靶材机台和所述溅射基板之间，所述第一隔板水平方向上的长度小于所述镀膜腔体水平方向上的长度；

所述第二隔板位于所述靶材机台和所述溅射基板之间，所述第二隔板水平方向上的长度小于所述镀膜腔体水平方向上的长度；

所述第二隔板的位置高于所述第一隔板；所述第二隔板与所述第一隔板分别设置于所述镀膜腔体的相对两侧，且水平相对延伸。

3.根据权利要求2所述的溅射镀膜机，其特征在于，

所述第一隔板水平方向上的长度小于所述第二隔板水平方向上的长度。

4.根据权利要求3所述的溅射镀膜机，其特征在于，

所述第一隔板与所述第二隔板水平方向上间隔距离4cm～6cm；

所述第一隔板与所述第二隔板竖直方向上间隔18cm～22cm。

5.根据权利要求1所述的溅射镀膜机，其特征在于，还包括：

第三隔板；所述第三隔板水平设置且位于所述第二隔板和所述溅射基板之间；所述第三隔板、所述第二隔板和所述第一隔板共同构成所述靶材机台至所述溅射基板的曲折通道。

6.根据权利要求5所述的溅射镀膜机，其特征在于，

所述第三隔板包括水平方向上相对的两块隔板，两块隔板之间存在间隔。

7.根据权利要求6所述的溅射镀膜机，其特征在于，

所述第三隔板的两块隔板之间的间隔水平方向上位于所述第三隔板的正中。

8.根据权利要求7所述的溅射镀膜机，其特征在于，

所述第三隔板的两块隔板之间间隔16cm～24cm。

9.根据权利要求5所述的溅射镀膜机，其特征在于，还包括：

第四隔板；所述第四隔板上设置有竖直方向上贯通所述第四隔板的多个通孔，所述多个通孔均匀排布。

10.根据权利要求9所述的溅射镀膜机，其特征在于，

相邻的所述通孔之间间隔18cm～22cm。