[实用新型]一种晶圆转移装置

权利要求书

1.一种晶圆转移装置，其特征在于：包括晶圆卡塞（1），所述晶圆卡塞（1）包括卡塞框（11）以及控制把手（12），所述卡塞框（11）的上端面贯穿开设有放置槽（111），所述放置槽（111）的槽壁开设有若干圆弧形卡槽（112），所述控制把手（12）固定连接于所述卡塞框（11）的侧板上。

2.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于：还包括用于转移晶圆卡塞（1）的转移夹抓（2），所述转移夹抓（2）包括控制杆（21）以及限位卡扣（22），所述限位卡扣（22）设置于所述控制杆（21）的端部的侧壁上；所述控制把手（12）的上端面贯穿开设有锁定槽（121），所述控制杆（21）设置有所述限位卡扣（22）的一端向下穿设所述锁定槽（121），所述卡塞框（11）的侧板插接于所述限位卡扣（22）上。

3.根据权利要求2所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述控制杆（21）的侧壁设置有若干加强筋（24），且若干所述加强筋（24）相互平行。

4.根据权利要求2所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述转移夹抓（2）还包括预定位卡扣（23），所述预定位卡扣（23）设置于所述控制杆（21）远离所述限位卡扣（22）的一端，所述预定位卡扣（23）架设于所述控制把手（12）上。

5.根据权利要求4所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述控制把手（12）远离卡塞框（11）的一侧设置有定位块（122），所述预定位卡扣（23）上贯穿开设有定位槽（231），当所述卡塞框（11）的侧板插接于所述限位卡扣（22）内时，所述定位块（122）插接于所述定位槽（231）内。

6.根据权利要求5所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述定位块（122）远离控制把手（12）的一侧设置有导向面（123），所述导向面（123）向远离控制把手（12）的方向逐渐向下倾斜。

7.根据权利要求2所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述控制杆（21）远离所述限位卡扣（22）的一端开设有控制槽（25）。

8.根据权利要求7所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述控制槽（25）的槽壁设置有弹性垫环（26）。

9.根据权利要求8所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述控制槽（25）的槽壁设置有若干相互间隔的限位块（251），所述限位块（251）的横截面为宽度逐渐向内增加的梯形，所述弹性垫环（26）的外周面开设有若干限位槽（261），所述限位块（251）嵌设于所述限位槽（261）内。

10.根据权利要求8所述的晶圆转移装置，其特征在于：所述弹性垫环（26）的内周面开设有若干防滑槽（262）。